[發(fā)明專利]一種預(yù)真空鎖模塊、晶圓傳入方法及傳出方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011566379.4
• 申請(qǐng)日: 2020-12-25
• 公開（公告）號(hào): CN112599460A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱勇;孫曉東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海諳邦半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;上海訊穎電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 成都頂峰專利事務(wù)所(普通合伙) 51224
• 代理人: 楊國(guó)瑞

1.一種預(yù)真空鎖模塊，包括有封閉腔室(1)和門板，其中，所述門板用于打開所述封閉腔室(1)，以供外部的晶圓拿取手臂進(jìn)出腔內(nèi)，其特征在于：還包括有升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)、激光發(fā)射器(41)、激光接收器(42)、晶圓左邊緣承載板(51)和晶圓右邊緣承載板(52)；

所述升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)設(shè)置在所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)底部中心位置，并能夠垂直升降以及在承接晶圓(100)后帶動(dòng)所述晶圓(100)在水平面上旋轉(zhuǎn)；

所述激光發(fā)射器(41)和所述激光接收器(42)在所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)上下對(duì)準(zhǔn)設(shè)置，并使所述激光發(fā)射器(41)和所述激光接收器(42)的位置中心至所述升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)的旋轉(zhuǎn)軸心線的徑向間距分別等于所述晶圓(100)的半徑；

所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)分別水平設(shè)置在所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)左右側(cè)壁上，并使所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)處于同一水平面上。

2.如權(quán)利要求1所述的預(yù)真空鎖模塊，其特征在于：在所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)設(shè)置有多層上下等間距布置的所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)。

3.如權(quán)利要求1所述的預(yù)真空鎖模塊，其特征在于：還包括有分別可導(dǎo)通/截止的抽氣管道(6)和充氣管道(7)，其中，所述抽氣管道(6)和所述充氣管道(7)分別連通所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的預(yù)真空鎖模塊，其特征在于：所述激光發(fā)射器(41)和所述激光接收器(42)的位置中心可在所述旋轉(zhuǎn)軸心線的徑向上活動(dòng)調(diào)節(jié)。

5.一種晶圓傳入方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的預(yù)真空鎖模塊，包括：

向所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)充入空氣，直到腔內(nèi)處于常壓環(huán)境；

打開所述門板；

向所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)伸入常壓環(huán)境下的第一晶圓拿取手臂，以便在從晶圓載具中取出晶圓(100)后，將所述晶圓(100)放置在所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)上；

撤回所述第一晶圓拿取手臂；

關(guān)閉所述門板；

對(duì)所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)進(jìn)行抽氣，直到腔內(nèi)處于真空環(huán)境；

抬升所述升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)，以便在使所述晶圓(100)脫離所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)后承接所述晶圓(100)；

旋轉(zhuǎn)所述升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)，同時(shí)啟動(dòng)所述激光發(fā)射器(41)向所述激光接收器(42)發(fā)送激光束；

根據(jù)所述升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)的旋轉(zhuǎn)角度和由所述激光接收器(42)采集的激光束接收強(qiáng)度，確定所述晶圓(100)的圓心位置和缺口位置；

根據(jù)所述晶圓(100)的缺口位置，繼續(xù)旋轉(zhuǎn)所述升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)，使所述晶圓(100)的缺口對(duì)準(zhǔn)預(yù)先指定方向；

打開所述門板；

向所述封閉腔室(1)的腔內(nèi)伸入真空環(huán)境下的第二晶圓拿取手臂，以便在根據(jù)所述晶圓(100)的圓心位置調(diào)整所述第二晶圓拿取手臂后，將所述晶圓(100)取出并傳送至晶圓加工腔室中。