[發明專利]制程廢氣洗滌裝置

在審

• 申請號: 202011565780.6
• 申請日: 2020-12-25
• 公開（公告）號: CN114682047A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 柯安
• 申請（專利權）人: 奇鼎科技股份有限公司
• 主分類號: B01D53/18
• 分類號: B01D53/18;B01D53/86;B01D53/44
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧

1.一種制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，其設置于一腔體內，該腔體兩側分別設有一進氣口及一出氣口，其包含：

一第一過濾裝置，其設置于該腔體內，并位于該進氣口的一側，該殼體的上方及下方分別設有一過濾進氣口及一過濾出氣口；以及

一第一噴灑裝置，其設置該腔體內，并位于該第一過濾裝置上；

一第一管路，其一端連通一第一液體切換閥，該第一管路用以運輸一第一液體經由一液體運輸管路進入該第一噴灑裝置，使該第一噴灑裝置噴灑該第一液體于該第一過濾裝置；

其中，一進氣通道兩端分別連通該進氣口及該過濾進氣口，一氣體經由該進氣口進入該進氣通道，并且該氣體通過該過濾進氣口后進入該第一過濾裝置，再者，該第一液體連續進入該出氣口并向下流經該第一過濾裝置，該氣體經該第一液體洗滌后，由該過濾出氣口流出并經由該出氣口排出該腔體。

2.如權利要求1所述的制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，其中該第一過濾裝置包含一殼體、一第一多孔元件及一離子吸附元件，該第一多孔元件設置于該殼體內，位于該過濾進氣口的一側，該第一多孔元件上設置一第一觸媒材料，該離子吸附元件設置于該第一多孔元件與該過濾出氣口之間。

3.如權利要求2所述的制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，其中該第一過濾裝置更包含一第二多孔元件，其設置于該離子吸附元件與該過濾出氣口之間，該第二多孔元件上設置有一第二觸媒材料。

4.如權利要求3所述的制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，其中該第一多孔元件及該第二多孔元件的材質為不銹鋼、鈦、鉑或鋁，進一步，該第一觸媒材料及該第二觸媒材料為二氧化鈦、氧化硅、氧化鋁或鉑。

5.如權利要求1所述的制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，更包含一液體儲存槽，該液體儲存槽設置于該第一過濾裝置的下方，該進氣通道位于該液體儲存槽及該第一過濾裝置之間，進一步，該液體儲存槽下方設置一排水裝置，該排水裝置用以排出該第一液體。

6.如權利要求5所述的制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，更包含一抽取裝置，其設置于該第一噴灑裝置及該液體儲存槽之間，并位于該液體運輸管路上。

7.如權利要求1所述的制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，其中該進氣通道設于該第一過濾裝置的一側，且自該進氣口向下延伸并連通至該過濾進氣口。

8.如權利要求1所述的制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，其中該腔體內更包含一第二過濾裝置，該第一過濾裝置一氣體信道一端連通該第一過濾裝置的該過濾出氣口，該氣體通道另一端連通第二過濾裝置的一過濾進氣口，該氣體通道用以使該氣體由該第一過濾裝置流入該第二過濾裝置。

9.如權利要求8所述的制程廢氣洗滌裝置，其特征在于，更包含一第三管路，其兩端分別連接于該第一過濾裝置及該第二過濾裝置，該第三管路兩端各設有該第一液體切換閥，其用于切換該第一液體及該第二液體，亦用于混合該第一液體及該第二液體進行洗滌。

10.如權利要求9所述的制程廢氣洗滌裝置，該第一及第二過濾裝置，其特征在于，設有一第一管路提供第一液體，此第一液體先經由第二噴灑裝置供應于第二過濾裝置后流入液體儲存槽，再經由第三管路供應至第一噴灑裝置，供應于第一過濾裝置，做為二次洗滌使用。