[發明專利]一種遠程等離子源RPS腔體陽極氧化方法有效
| 申請號： | 202011565459.8 | 申請日： | 2020-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN112899747B | 公開（公告）日： | 2022-07-26 |
| 發明（設計）人： | 劉文豐;崔婷婷;皮昌全 | 申請（專利權）人： | 江蘇神州半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | C25D11/02 | 分類號： | C25D11/02 |
| 代理公司： | 南京源點知識產權代理有限公司 32545 | 代理人： | 黃晨 |
| 地址： | 225000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 遠程 離子源 rps 陽極 氧化 方法 | ||
1.一種遠程等離子源RPS腔體陽極氧化方法，其特征在于，包括如下步驟：
S1預處理：打磨基材，之后依次進行去脂、水洗、堿洗、中和和水洗操作，露出金屬基體；
S2陽極氧化：將基材放置在電解液中作為陽極，施加電源進行硬質陽極氧化處理；
S3后處理：將經過步驟S2處理的基材水洗后，依次進行封孔和烘干操作，即得；
所述步驟S1 中的打磨基材操作為采用200-240目的百潔布將基材表面打磨至粗糙度0.5-0.7μm；
所述步驟S3中的封孔操作為將基材放置在35-45℃溫水中放置5-10min，之后將基材取出加熱至65-75℃，加熱完成后將基材放入熱水中，加熱至90-95 ℃熱封。
2.根據權利要求1所述的遠程等離子源RPS腔體陽極氧化方法，其特征在于，所述步驟S1 中的去脂操作為采用弱堿性溶液加熱清洗去除基材表面油脂，所述步驟S1中的堿洗操作為采用強堿溶液清洗去除基材表面自然氧化膜，所述步驟S1中的中和操作為采用酸性溶液清洗去除基材表面經過堿洗產生的掛灰。
3.根據權利要求1所述的遠程等離子源RPS腔體陽極氧化方法，其特征在于，所述步驟S2中電源為直流疊加脈沖電源，電流密度為2-3.5A/dm2，初始電壓為28-32V，且直流疊加脈沖電源的電壓逐漸增大維持電流密度，所述直流疊加脈沖電源的終止電壓為46-50V。
4.根據權利要求1所述的遠程等離子源RPS腔體陽極氧化方法，其特征在于，所述基材由溫水中取出后加熱至65-75℃的加熱速度為10℃/5min。
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