[發(fā)明專利]用于雙面功率模塊的引線框間隔件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011558752.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-25
• 公開（公告）號(hào): CN113113391A
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程子軒;劉勇;陳良彪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 半導(dǎo)體元件工業(yè)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L25/07
• 分類號(hào): H01L25/07;H01L21/98;H01L23/495;H01L21/50
• 代理公司: 中國貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 秦晨

本發(fā)明題為“用于雙面功率模塊的引線框間隔件”。一種半導(dǎo)體器件模塊可包括引線框間隔件，該引線框間隔件提供引線框和間隔件兩者的功能，同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙面冷卻配置。此類引線框間隔件可包括引線框表面，該引線框表面提供由至少兩個(gè)半導(dǎo)體器件共用的管芯附接焊盤(DAP)。該引線框間隔件可包括至少一個(gè)下陷部，其中半導(dǎo)體器件可附接在由該至少一個(gè)下陷部限定的凹槽內(nèi)。第一襯底可連接到該引線框的第一側(cè)。第二襯底可連接到該至少一個(gè)下陷部的下陷部表面，并且被定位成進(jìn)一步連接到雙面組件中的半導(dǎo)體器件。

技術(shù)領(lǐng)域

本說明書涉及用于功率模塊的半導(dǎo)體封裝技術(shù)。

背景技術(shù)

已開發(fā)出用于與電源和功率管理相關(guān)聯(lián)的各種應(yīng)用中的半導(dǎo)體器件，諸如用于變速驅(qū)動(dòng)器的功率轉(zhuǎn)換器。例如，功率模塊可使用絕緣柵雙極晶體管(IGBT)和二極管(諸如快速恢復(fù)二極管(FRD))的組合以用于切換應(yīng)用。

封裝此類半導(dǎo)體器件以實(shí)現(xiàn)與其他電路的連接，并且以節(jié)省空間且可靠的方式部署半導(dǎo)體器件。具體地講，封裝在功率模塊內(nèi)的半導(dǎo)體器件可在電可靠性、機(jī)械可靠性和熱可靠性方面具有高要求。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)一個(gè)一般方面，半導(dǎo)體器件模塊包括第一襯底和引線框間隔件，該引線框間隔件具有電連接到該第一襯底的第一側(cè)并且包括至少一個(gè)下陷部(downset)，該至少一個(gè)下陷部限定在該引線框間隔件的與該第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)上提供管芯附接焊盤(DAP)的凹槽。該半導(dǎo)體器件模塊包括設(shè)置在該凹槽內(nèi)并電連接到該DAP的第一半導(dǎo)體器件、設(shè)置在該凹槽內(nèi)并電連接到該DAP的第二半導(dǎo)體器件，以及第二襯底，該第二襯底在引線框間隔件的第二側(cè)安裝在至少一個(gè)下陷部的至少一個(gè)下陷部表面上，并且至少部分地包封該凹槽內(nèi)的該第一半導(dǎo)體器件和該第二半導(dǎo)體器件。

根據(jù)另一個(gè)一般方面，半導(dǎo)體器件模塊包括：引線框間隔件，該引線框間隔件具有第一側(cè)和第二側(cè)，該第二側(cè)具有帶有至少一個(gè)下陷部表面的至少一個(gè)下陷部；第一襯底，該第一襯底安裝到引線框間隔件的第一側(cè)；以及第二襯底，該第二襯底安裝到至少一個(gè)下陷部表面。半導(dǎo)體器件模塊包括：第一半導(dǎo)體器件，該第一半導(dǎo)體器件電連接到該引線框間隔件的第二側(cè)并且電連接到該第二襯底；以及第二半導(dǎo)體器件，該第二半導(dǎo)體器件電連接到該引線框間隔件的第二側(cè)并且電連接到該第二襯底。

根據(jù)另一個(gè)一般方面，制造半導(dǎo)體器件模塊的方法包括將第一襯底安裝到引線框間隔件的第一側(cè)，該引線框間隔件包括至少一個(gè)下陷部，該至少一個(gè)下陷部限定在該引線框間隔件的與第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)上提供管芯附接焊盤(DAP)的凹槽。該方法還包括將第一半導(dǎo)體器件和第二半導(dǎo)體器件安裝到DAP上，以及將第二襯底在該引線框間隔件的第二側(cè)安裝在該至少一個(gè)下陷部的至少一個(gè)下陷部表面上，并且至少部分地包封該凹槽內(nèi)的該第一半導(dǎo)體器件和該第二半導(dǎo)體器件。

一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式的細(xì)節(jié)在附圖和以下描述中闡明。其他特征將從說明書和附圖中以及從權(quán)利要求書中顯而易見。

附圖說明

圖1是用于雙面冷卻功率模塊的引線框間隔件的簡化局部分解圖。

圖2是使用圖1的引線框間隔件的雙面冷卻功率模塊的示例性實(shí)施方式的橫截面。

圖3是用于形成圖2的示例性實(shí)施方式的第一示例性工藝步驟的橫截面。

圖4是用于形成圖2的示例性實(shí)施方式的第二示例性工藝步驟的橫截面。

圖5是用于形成圖2的示例性實(shí)施方式的第三示例性工藝步驟的橫截面。

圖6是用于形成圖2的示例性實(shí)施方式的第四示例性工藝步驟的橫截面。

圖7是示出對(duì)應(yīng)于圖3至圖6的示例的示例性工藝步驟的流程圖。

圖8是對(duì)應(yīng)于圖1的示例的具有引線框間隔件的雙面功率模塊的更詳細(xì)的示例性實(shí)施方式的分解圖。

圖9是圖8的引線框間隔件的頂視圖。