[發明專利]一種采用集成電路構造的空心線圈和電磁檢測探頭在審
| 申請號： | 202011557091.0 | 申請日： | 2020-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN112683993A | 公開（公告）日： | 2021-04-20 |
| 發明（設計）人： | 邵文斌;崔洪巖;祁攀;廖述圣;羅玉文 | 申請（專利權）人： | 核動力運行研究所;中核武漢核電運行技術股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/72 | 分類號： | G01N27/72;G01N27/90;H01F27/28 |
| 代理公司： | 核工業專利中心 11007 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 430223 湖北省武漢*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 采用 集成電路 構造 空心 線圈 電磁 檢測 探頭 | ||
1.一種采用集成電路構造的空心線圈，其特征在于，包括晶圓基體和采用集成電路制作在所述芯片晶圓基體內的空心線圈金屬層。
2.根據權利要求1所述的采用集成電路構造的空心線圈，其特征在于，所述空心線圈金屬層至少兩層，兩兩相鄰的空心線圈金屬層之間通過與其空間垂直的金屬導線連接，每層所述空心線圈金屬層使用金屬導線通過集成電路制作而成。
3.根據權利要求2所述的采用集成電路構造的空心線圈，其特征在于，所述金屬導線之間的空間填充絕緣的晶圓基體材料。
4.根據權利要求2所述的采用集成電路構造的空心線圈，其特征在于，每層所述空心線圈金屬層均為平面結構。
5.根據權利要求4所述的采用集成電路構造的空心線圈，其特征在于，每層所述空心線圈金屬層的螺旋方向與相鄰空心線圈金屬層相反，且連接所述空心線圈金屬層之間的金屬導線的連接點在沿著空心線圈金屬層重疊的方向上共線。
6.根據權利要求1所述的采用集成電路構造的空心線圈，其特征在于，所述空心線圈金屬層為圓形、三角形、矩形或六邊形等。
7.根據權利要求1所述的采用集成電路構造的空心線圈，其特征在于，所述空心線圈金屬層是通過金屬層工藝制作在所述芯片晶圓基體1內的。
8.一種電磁檢測探頭，其特征在于，所述電磁檢測探頭由權利要求1-7項所述的采用集成電路構造的空心線圈陣列排布而成。
9.一種渦流電磁無損檢測方法，其特征在于，使用權利要求8所述的電磁檢測探頭進行渦流電磁無損檢測。
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