[發(fā)明專利]有圖形晶圓的圖像優(yōu)化方法、復檢方法和復檢設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011551452.0
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN112561905A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設計）人: 劉驪松
• 申請（專利權）人: 上海精測半導體技術有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/12;G06T5/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種有圖形晶圓的圖像優(yōu)化方法，其特征在于，包括：

當創(chuàng)建菜單時，將晶圓的晶粒上包括不同材料的區(qū)域選為代表性區(qū)域，在所述代表性區(qū)域上的不同位置分別獲得掃描電鏡圖像及其灰度分布，選取至少兩個候選最大灰度位置和至少兩個候選最小灰度位置，根據(jù)一個候選最大灰度位置和一個候選最小灰度位置獲得圖像優(yōu)化位置，設置灰度目標參數(shù)，使得所述灰度目標參數(shù)包括目標最大灰度和目標最小灰度中至少一個且還包括目標灰度跨度，或者所述灰度目標參數(shù)包括所述目標最大灰度和目標最小灰度，建立包括至少兩個灰度誤差項的評價函數(shù)，所述灰度誤差項用于評價實際灰度值偏離相應的所述灰度目標參數(shù)的大小，建立所述增益量和平移量的迭代公式，設置最大迭代次數(shù)、初始增益量和初始平移量；

當執(zhí)行菜單時，根據(jù)所述晶圓的所述圖像優(yōu)化位置獲得其同類晶圓的圖像優(yōu)化位置，根據(jù)復檢設備中的掃描電鏡裝置獲得所述同類晶圓的圖像優(yōu)化位置的實際圖像及其實際灰度分布，通過所述初始增益量、初始平移量和迭代公式計算所述評價函數(shù)的值，在所述評價函數(shù)達到極小值時或達到所述最大迭代次數(shù)時結束迭代，將結束迭代后的增益量和平移量保存為最優(yōu)增益量和最優(yōu)平移量。

2.根據(jù)權利要求1所述的圖像優(yōu)化方法，其特征在于，根據(jù)解析芯片設計文件或根據(jù)掃描電鏡裝置在代表性區(qū)域上的不同位置分別獲得掃描電鏡圖像及其灰度分布，其中，根據(jù)掃描電鏡裝置在代表性區(qū)域上的不同位置分別獲得掃描電鏡圖像及其灰度分布包括：

通過晶圓對準時使用的掃描電鏡裝置在代表性區(qū)域上的不同位置分別獲得所述掃描電鏡圖像及其灰度分布。

3.根據(jù)權利要求1所述的圖像優(yōu)化方法，其特征在于，根據(jù)所述晶圓的所述圖像優(yōu)化位置獲得其同類晶圓的圖像優(yōu)化位置包括：

獲得所述同類晶圓的灰度干擾位置；

判斷所述同類晶圓的圖像優(yōu)化位置與所述灰度干擾位置是否重合，若未重合，則將所述晶圓的所述圖像優(yōu)化位置選取為所述同類晶圓的圖像優(yōu)化位置。

4.根據(jù)權利要求3所述的圖像優(yōu)化方法，其特征在于，若重合，則在同一晶粒上搜索其余的所述候選最大灰度位置和候選最小灰度位置，若搜索到未與所述灰度干擾位置重合的所述候選最大灰度位置和候選最小灰度位置，則根據(jù)一個搜索到的所述候選最大灰度位置和一個候選最小灰度位置獲得所述同類晶圓的圖像優(yōu)化位置，若未搜索到，則搜索其他晶粒以獲得所述同類晶圓的圖像優(yōu)化位置。

5.根據(jù)權利要求1所述的圖像優(yōu)化方法，其特征在于，建立包括至少兩個灰度誤差項的評價函數(shù)包括：

建立至少兩個灰度誤差項，使得所述灰度誤差項正比于所述實際灰度值與所述灰度目標參數(shù)的差的絕對值或正比于所述差的正偶數(shù)次方值，根據(jù)至少兩個所述灰度誤差項的和獲得雙谷型的所述評價函數(shù)。

6.根據(jù)權利要求1所述的圖像優(yōu)化方法，其特征在于，建立實際最大灰度和/或實際最小灰度的閾值約束條件，使得所述實際最大灰度和/或實際最小灰度超出相應的灰度目標參數(shù)時受到相應的閾值邊界的約束。

7.根據(jù)權利要求6所述的圖像優(yōu)化方法，其特征在于，建立包括至少兩個灰度誤差項的評價函數(shù)包括：

建立實際最小灰度和/或實際最大灰度與相應的所述灰度目標參數(shù)的差的復合函數(shù)，且使得所述實際最小灰度和/或實際最大灰度接近相應的閾值邊界時，所述復合函數(shù)的正偶數(shù)次方的斜率比所述差的相同次方的斜率大或者所述復合函數(shù)的絕對值的斜率比所述差的絕對值的斜率大，根據(jù)所述復合函數(shù)獲得第一灰度誤差項和/或第二灰度誤差項，根據(jù)實際灰度跨度與目標灰度跨度建立第三灰度誤差項，根據(jù)所述第一灰度誤差項、第二灰度誤差項和第三灰度誤差項中的至少兩個的和獲得陡壁雙谷型的所述評價函數(shù)。

8.根據(jù)權利要求7所述的圖像優(yōu)化方法，其特征在于，建立實際最小灰度和/或實際最大灰度與相應的所述灰度目標參數(shù)的差的復合函數(shù)，且使得所述實際最小灰度和/或實際最大灰度超出相應的灰度目標參數(shù)時，所述復合函數(shù)的正偶數(shù)次方的斜率比所述差的相同次方的斜率大或者所述復合函數(shù)的絕對值的斜率比所述差的絕對值的斜率大。