[發明專利]一種用于芯片生產的檢測設備

在審

• 申請號: 202011548672.8
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN112798590A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 劉金生
• 申請（專利權）人: 南京群博新能源技術開發有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01;G01N21/15
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種用于芯片生產的檢測設備，包括基座、裝載臺、固定桿、支桿、物鏡和目鏡，還包括防護機構和清潔機構，所述防護機構包括防護組件、放置盒、兩個控制組件和若干第一彈簧，所述清潔機構包括氣缸、壓板、氣囊、固定管、兩個軟管、兩個噴嘴和若干第二彈簧，該用于芯片生產的檢測設備通過防護機構，實現了對物鏡和目鏡遮擋的功能，減小物鏡和目鏡被劃傷的幾率，從而減小設備損壞的幾率，避免對檢測工作造成影響，從而提高了設備的可靠性，通過除塵機構，實現了對芯片除塵的功能，避免芯片被灰塵覆蓋而影響檢測結果，提高了設備的可靠性。

技術領域

本發明涉及芯片生產領域，特別涉及一種用于芯片生產的檢測設備。

背景技術

芯片是半導體元件產品的統稱，芯片檢測的過程是將封裝后的芯片置于各種環境下測試其電氣特性，如消耗功率、運行速度、耐壓度等，經檢測后的芯片，依其電氣特性劃分為不同等級，經一般測試合格的產品貼上規格、型號及出廠日期等標識的標簽并加以包裝后即可出廠，而未通過測試的芯片則視其達到的參數情況定作降級品或廢品芯片，所以檢測設備是芯片制造中必不可少的設備之一，而通常采用顯微鏡對芯片進行外觀檢測工作。

現有的顯微鏡在對芯片檢測時，若芯片上被灰塵覆蓋，從而會對檢測工作造成影響，從而影響檢測結果，不僅如此，現有的顯微鏡的目鏡和物鏡通常暴露在外，從而容易導致鏡面被劃傷，從而對觀察效果造成影響，降低了現有的顯微鏡的可靠性。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為了克服現有技術的不足，提供一種用于芯片生產的檢測設備。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種用于芯片生產的檢測設備，包括基座、裝載臺、固定桿、支桿、物鏡和目鏡，所述裝載臺設置在基座的上方，所述固定桿豎向固定在基座的上方的一側，所述支桿的兩端分別與固定桿的頂端和物鏡固定連接，所述支桿基座平行設置，所述目鏡設置在物鏡的上方，所述物鏡與裝載臺正對設置，所述基座的內部設有PLC，其特征在于，還包括防護機構和清潔機構，所述防護機構和清潔機構均設置在基座上；

所述防護機構包括防護組件、放置盒、兩個控制組件和若干第一彈簧，所述防護組件設置在支桿上，所述放置盒水平設置在裝載臺的上方，所述第一彈簧均勻設置在裝載臺和放置盒之間，所述第一彈簧的兩端分別與放置盒的下方和裝載臺的上方連接，兩個控制組件分別與放置盒的下方的兩側連接，所述裝載臺上設有兩個凹口，所述凹口與控制組件一一對應，所述控制組件設置在凹口的內部，所述凹口內的底部設有盲孔，所述盲孔與凹口連通；

所述控制組件包括移動桿、固定環、密封圈、導向桿、控制開關、控制桿、活塞、限位塊、連接盒、連管、兩個支管和若干彈性繩，所述固定環的外周與凹口的靠近放置盒的一端的內壁上，所述密封圈的外周與固定環的環孔的內壁固定連接，所述移動桿的一端與放置盒的下方固定連接，所述移動桿的另一端穿過密封圈的環孔設置在凹口的內部，所述密封圈的內圈與移動桿的外周抵靠，所述移動桿的另一端與導向桿的中心處固定連接，所述凹口的兩側的內壁均設有凹槽，所述導向桿的兩端分別設置在兩個凹槽的內部，所述導向桿與凹槽匹配，所述導向桿與凹槽滑動連接，所述活塞設置在盲孔的內部，所述活塞與盲孔匹配，所述活塞的外周與盲孔的內壁密封滑動連接，所述盲孔內的底部通過連管與基座的內部連通，所述限位塊固定在盲孔的靠近凹口的一端的內壁上，所述限位塊上設有穿孔，所述控制桿的一端與活塞的上方固定連接，所述控制桿的另一端穿過穿孔與控制開關固定連接，所述控制桿與穿孔匹配，所述控制桿與限位塊滑動連接，所述彈性繩周向均勻分布在活塞的上方，所述彈性繩的兩端分別與限位塊的下方和活塞的上方連接，所述控制開關與導向桿正規設置，所述連接盒的形狀為環形，所述連接盒固定在固定環上，所述連接盒套設在移動桿上，所述連接盒的靠近移動桿的一側均勻設有出氣孔，所述裝載臺上設有四個貫穿孔，所述貫穿孔與支管一一對應，所述貫穿孔的一端與盲孔內的底部連通，所述支管的一端與貫穿孔的另一端的內壁固定連接，所述支管的另一端與連接盒連通，所述控制開關與PLC電連接；