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[發(fā)明專利]由1,6-二噁螺[2.5]辛烷合成的可降解型樹脂單體及其制備方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202011548655.4 申請日: 2020-12-23
公開(公告)號: CN112794834A 公開(公告)日: 2021-05-14
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 傅志偉;畢景峰;潘惠英;李嫚嫚 申請(專利權(quán))人: 上海博棟化學(xué)科技有限公司
主分類號: C07D309/10 分類號: C07D309/10;G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 201614 上海市松江*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 二噁螺 2.5 辛烷 合成 降解 樹脂 單體 及其 制備 方法
【說明書】:

發(fā)明屬于可降解型光刻膠樹脂單體,公開了一種由1,6?二噁螺[2.5]辛烷合成的可降解型樹脂單體及其制備方法,樹脂單體的結(jié)構(gòu)式如下:其中R為連接鍵或連接基團(tuán)。其制備方法為,由1,6?二噁螺[2.5]辛烷經(jīng)開環(huán)酯化生成樹脂單體。本發(fā)明的樹脂單體包括叔丁基結(jié)構(gòu)和環(huán)狀多酯結(jié)構(gòu),能夠改善邊緣粗糙度,增加對比度,提高分辨率,具有優(yōu)異的耐刻蝕性和脂溶性溶,且制備方法簡單方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及可降解型光刻膠樹脂單體領(lǐng)域,特別涉及一種由1,6-二噁螺[2.5]辛烷合成的可降解型樹脂單體及其制備方法。

背景技術(shù)

光刻材料(特指光刻膠),又稱光致抗蝕劑,是光刻技術(shù)中涉及的最關(guān)鍵的功能性化學(xué)材料,主要成分是樹脂、光致產(chǎn)酸劑、以及相應(yīng)的添加劑和溶劑,這類材料具有光(包括可見光、紫外線、電子束等)化學(xué)敏感性,經(jīng)光化學(xué)反應(yīng),本身在顯影液中的溶解性發(fā)生變化。

光刻膠中所使用的樹脂是由多種樹脂單體共聚而成的聚合物,其中酸敏樹脂單體是實(shí)現(xiàn)曝光前后樹脂在顯影液中溶解差異的重要組成部分,常見的酸敏樹脂單體只有一個(gè)酸敏基團(tuán),其聚合物樹脂為線性,曝光區(qū)域和未曝光區(qū)域的溶解度差異是通過酸敏基團(tuán)曝光后脫保護(hù)形成的,線性聚合物主鏈并不會斷開。因此,現(xiàn)有光刻膠由于酸敏樹脂單體的特定結(jié)構(gòu),存在光刻圖案分辨率較低的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種由1,6-二噁螺[2.5]辛烷合成的可降解型樹脂單體及其制備方法。

為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了如下的技術(shù)方案:

本發(fā)明一種由1,6-二噁螺[2.5]辛烷合成的可降解型樹脂單體,所述樹脂單體結(jié)構(gòu)通式如下:

所述連接基團(tuán)的結(jié)構(gòu)為其中R為連接鍵或連接基團(tuán)。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案,所述樹脂單體包括以下結(jié)構(gòu):

其中R1為鏈烷基或環(huán)烷基。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案,所述樹脂單體包括以下結(jié)構(gòu):

一種由1,6-二噁螺[2.5]辛烷合成的可降解型樹脂單體的制備方法,合成步驟為:由1,6-二噁螺[2.5]辛烷經(jīng)開環(huán)酯化生成樹脂單體。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案,合成路線為:

合成步驟具體為:由所述1,6-二噁螺[2.5]辛烷在1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]十一碳-7-烯下與甲基丙烯酸酐經(jīng)加熱攪拌,純化得到樹脂單體。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案,

合成路線為:

其中R1為鏈烷基或環(huán)烷基;

包括以下步驟:首先所述1,6-二噁螺[2.5]辛烷在1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]十一碳-7-烯下與含有羧基的丙烯酸類化合物Ⅱ經(jīng)加熱攪拌,純化得到中間化合物Ⅲ;然后,所述中間化合物Ⅲ與甲基丙烯酰氯經(jīng)酯化反應(yīng)得到樹脂單體Ⅳ。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案,所述含有羧基的丙烯酸類化合物Ⅱ由以下步驟合成:羥基羧酸類化合物Ⅰ與甲基丙烯酰氯在堿性條件下經(jīng)酯化反應(yīng),純化得到丙烯酸類化合物Ⅱ;其中所述羥基羧酸類化合物Ⅰ包括以下結(jié)構(gòu):

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果如下:

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