[發明專利]無損切割方法及無損切割設備

有效

• 申請號: 202011548442.1
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN113042903B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 朱凡;程曉偉;李志剛;陸紅艷;張松;朱俊
• 申請（專利權）人: 帝爾激光科技（無錫）有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/70
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 梁文惠

1.一種無損切割方法，所述無損切割方法采用激光對待切割物進行切割，所述待切割物具有共線的誘導槽路徑和切割線路徑，其特征在于，所述無損切割方法包括：

使第一激光和第二激光垂直照射在待切割物上，且所述第一激光在所述待切割物上聚焦形成具有第一中心點的第一光斑，所述第二激光在所述待切割物上聚焦形成具有第二中心點的第二光斑，所述第一中心點和所述第二中心點與所述誘導槽路徑共線；

使所述第一激光和所述第二激光與所述待切割物相對移動，且移動過程中，所述第一激光運動至所述誘導槽路徑之外位置時阻斷所述第一激光至所述待切割物的光路，所述第二中心點位于所述第一中心點之后；使所述第一激光和所述第二激光與所述待切割物相對移動的方式為：使所述待切割物靜止，所述第一激光和所述第二激光同步移動；或者使所述第一激光和所述第二激光靜止，所述待切割物移動，且在移動過程中所述第一光斑和所述第二光斑沿切割線路徑移動；

所述第一光斑和所述第二光斑相離，且所述第一光斑和所述第二光斑的最小間距小于或等于所述誘導槽路徑的長度、且最大間距小于或等于50mm；

將所述第一激光在所述待切割物的起始端照射，從而加工誘導槽，誘導槽加工完畢后關閉，達到末尾時所述第一激光再次發射，刻蝕出尾端的誘導槽，整個過程中，所述第二激光一直保持發射狀態，所述待切割物整體通過所述第一激光和所述第二激光的光斑，完成切割。

2.根據權利要求1所述的無損切割方法，其特征在于，所述第一激光和所述第二激光經合束器處理后垂直照射在待切割物上。

3.根據權利要求1或2所述的無損切割方法，其特征在于，所述第二光斑為橢圓形光斑，且所述橢圓形光斑長軸方向沿所述切割線路徑的延伸方向延伸。

4.根據權利要求3所述的無損切割方法，其特征在于，所述橢圓形光斑的長徑和短徑之比為5~300:1。

5.根據權利要求3所述的無損切割方法，其特征在于，所述橢圓形光斑的長徑和短徑之比為10~200:1。

6.根據權利要求1所述的無損切割方法，其特征在于，所述待切割物為光伏電池片。

7.根據權利要求1所述的無損切割方法，其特征在于，所述第一激光為脈沖激光，所述第二激光為準連續激光或連續激光，所述第一激光的脈沖寬度為30~200ns。

8.根據權利要求7所述的無損切割方法，其特征在于，所述第一激光的激光波長為266~1064nm，所述第二激光的激光波長為808~2000nm。

9.根據權利要求7所述的無損切割方法，其特征在于，所述第一激光的激光波長為300~600nm，所述第二激光的激光波長為808~1100nm。

10.一種無損切割設備，所述無損切割設備用于采用權利要求1至9中任一項所述的無損切割方法對待切割物進行切割，所述無損切割設備包括激光加工裝置（10）、工作臺（20）和運動裝置（30），所述工作臺（20）用于承載待切割物，所述運動裝置（30）帶動所述工作臺（20）或所述激光加工裝置（10）運動，其特征在于，所述激光加工裝置（10）包括：

第一激光器（11），所述第一激光器（11）發出的第一激光垂直照射在所述待切割物上聚焦形成第一光斑，

第二激光器（12），所述第二激光器（12）發出的第二激光垂直照射在所述待切割物上聚焦形成第二光斑，

光路引導器（17），所述光路引導器（17）對第一激光和所述第二激光進行光路引導以使所述第一激光和所述第二激光光軸共面設置且均垂直照射在所述待切割物上。

11.根據權利要求10所述的無損切割設備，其特征在于，所述光路引導器（17）為合束器，所述合束器將所述第一激光和所述第二激光進行合束，以使所述第一激光的光軸和所述第二激光的光軸共面設置。