[發明專利]一種太赫茲拉曼光譜儀

在審

• 申請號: 202011547050.3
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN112763451A
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 馬振予;姚雪峰;李曉天;于宏柱;李文昊;糜小濤;齊向東
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01N21/3581
• 分類號: G01N21/3581;G01N21/65;G01N21/01
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 魏毅宏

1.一種太赫茲拉曼光譜儀，其特征在于，包括：激光器(1)、反射鏡(2)、帶通濾光片(3)、載物臺(4)、帶通濾光片和陷波濾光片組合(5)、第二陷波濾光片(6)、第三陷波濾光片(7)、第一聚焦透鏡(8)、拉曼濾光片(9)、入孔(10)、前端像質鏡組(11)、準直反射鏡(12)、中階梯光柵(13)、反射式棱鏡(14)、第一聚焦反射鏡(15)、后端像質鏡組(16)、微反射鏡陣列(17)、第二聚焦反射鏡(18)、第二聚焦透鏡(19)及探測器(20)；其中：

所述激光器(1)出射的激光光束經所述帶通濾光片(3)及所述反射鏡(2)反射后入射至所述帶通濾光片和陷波濾光片組合(5)并由所述帶通濾光片和陷波濾光片組合(5)反射至所述載物臺(4)的樣品表面，形成攜帶太赫茲波段的拉曼激發光；

所述太赫茲波段的拉曼激發光經所述帶通濾光片和陷波濾光片組合(5)透射后，再經所述第二陷波濾光片(6)、所述第三陷波濾光片(7)、第一聚焦透鏡(8)及所述拉曼濾光片(9)聚焦于入孔(10)處，經所述入孔(10)處聚焦的拉曼光再經所述前端像質鏡組(11)及所述準直反射鏡(12)后變為平行光束，所述平行光束再經所述中階梯光柵(13)及所述反射式棱鏡(14)后形成交叉色散光，所述交叉色散光再經所述第一聚焦反射鏡(15)及所述后端像質鏡組(16)匯聚于所述微反射鏡陣列(17)處，所述微反射鏡陣列(17)對入射的光束進行波長選通后經所述第二聚焦反射鏡(18)及所述第二聚焦透鏡(19)匯聚后被所述探測器(20)接收。

2.如權利要求1所述的太赫茲拉曼光譜儀，其特征在于，所述帶通濾光片和陷波濾光片組合(5)、第二陷波濾光片(6)、第三陷波濾光片(7)、第一聚焦透鏡(8)及拉曼濾光片(9)的主軸在同一高度。

3.如權利要求1所述的太赫茲拉曼光譜儀，其特征在于，所述第一聚焦透鏡(8)、所述拉曼濾光片(9)、所述前端像質鏡組(11)、及所述準直反射鏡(12)的焦點重合，且所述入孔(10)位于所述焦點處。

4.如權利要求1所述的太赫茲拉曼光譜儀，其特征在于，所述微反射鏡陣列(17)位于所述第一聚焦反射鏡(15)與后端像質鏡組(17)的共同焦面處。

5.如權利要求1所述的太赫茲拉曼光譜儀，其特征在于，所述前端像質鏡組(11)為柱面鏡與雙凸球面鏡組合，所述準直鏡組(12)、第一聚焦反射鏡(15)及第二聚焦反射鏡(18)為凹面反射鏡，所述后端像質鏡組(16)為雙凸凹球面透鏡組合。

6.如權利要求1所述的太赫茲拉曼光譜儀，其特征在于，所述探測器(20)為光電倍增管，且位于第二聚焦反射鏡(18)與第二聚焦透鏡(19)的共同焦面處。