[發(fā)明專利]一種金屬掩膜版框架安全夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011546493.0
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN112873082B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢超;楊波
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇高光半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32404
• 代理人: 肖念

本發(fā)明公開了掩膜版技術(shù)領(lǐng)域的一種金屬掩膜版框架安全夾具，包括固定基座和夾具支架，夾具支架之間設(shè)置有對位部件，所述對位部件可向內(nèi)部進行手動滑動，夾具支架上安裝氣動微調(diào)節(jié)夾具，氣動微調(diào)節(jié)夾具用微氣流作為動力，推動夾持部對掩膜版的框架側(cè)邊進行夾持，調(diào)節(jié)夾持力度，沖支臺對掩膜版的底部區(qū)域進行緩沖支撐，掩膜版整體底部受力均勻，本發(fā)明通過設(shè)置對位部件將掩膜版的框架進行擠壓對齊，保證掩膜版在夾持前保持穩(wěn)定和正確的夾持姿態(tài)，通過設(shè)置的氣動微調(diào)節(jié)夾具通過控制氣體的流速控制夾頭的夾持力度，氣體推動提供推力更加便于對精密部件的緩沖夾持，避免機械結(jié)構(gòu)操作的夾持力過大對掩膜版外部造成損傷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及掩膜版技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種金屬掩膜版框架安全夾具。

背景技術(shù)

在有機發(fā)光二極管顯示面板的制作過程中，需要用到掩膜版。

目前，蒸鍍工藝過程中多采用超精細(xì)掩膜版來將有機發(fā)光材料蒸鍍在基板的規(guī)定位置，超精細(xì)掩膜版的平坦度直接影響蒸鍍的效果，面板的分辨率越高，所需的超精細(xì)掩膜版越精細(xì)，進而，對超精細(xì)掩膜版的平坦度要求越高。

掩膜版框架的在精加工的過程中，如果直接與工作面接觸，難以保證掩膜版這種精密、脆弱的器件不出現(xiàn)劃傷；

常見的技術(shù)方案是簡單找一塊板子墊下，簡單固定或者無固定，而采用簡單的支架容易發(fā)生移位，不利于后續(xù)加工，而在用一般夾具對掩膜版框架進行固定時其夾持力控制較大會對掩膜版表面產(chǎn)生形變，對掩膜版基版造成損傷。

基于此，本發(fā)明設(shè)計了一種金屬掩膜版框架安全夾具，以解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種金屬掩膜版框架安全夾具，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種金屬掩膜版框架安全夾具，包括固定基座和夾具支架，所述夾具支架安裝在固定基座的頂部兩側(cè)，兩個所述夾具支架之間設(shè)置有對位部件，所述對位部件可向內(nèi)部進行手動滑動，其將掩膜版的框架外端部進行支撐，所述對位部件對掩膜版的框架兩側(cè)進行對齊，將掩膜版固定前的放置位置進行定位；

所述夾具支架上安裝氣動微調(diào)節(jié)夾具，氣動微調(diào)節(jié)夾具用微氣流作為動力，推動夾持部對掩膜版的框架側(cè)邊進行夾持，調(diào)節(jié)夾持力度；

兩組氣動微調(diào)節(jié)夾具和兩組對位部件組成“口”型，其內(nèi)部區(qū)域為掩膜版的放置區(qū)域，且在放置區(qū)域中安裝緩沖支臺，所述緩沖支臺對掩膜版的底部區(qū)域進行緩沖支撐，掩膜版整體底部受力均勻。

優(yōu)選的，所述對位部件包括支撐柱、高度調(diào)節(jié)板和對齊端，所述支撐柱平行設(shè)置兩個且固定焊接在固定基座上，所述高度調(diào)節(jié)板可插接在支撐柱上進行上下滑動調(diào)節(jié)，所述高度調(diào)節(jié)板上橫向開設(shè)插槽，且插槽中插接滑動桿，所述滑動桿的一端與對齊端連接，所述對齊端可進行橫向位移。

優(yōu)選的，所述對齊端的橫截面為“L”型，掩膜版的框架外端部在對齊時可放置在對齊端的內(nèi)側(cè)面底部，兩組對齊端的相對內(nèi)側(cè)面對掩膜版的框架兩側(cè)外端部進行擠壓對齊，所述對齊端上連接操作端，通過人工進行掩膜版的對齊操作。

優(yōu)選的，所述氣動微調(diào)節(jié)夾具包括氣動條、限位卡條、阻擋片和夾頭，所述氣動條的一側(cè)開設(shè)一排氣流微孔，所述氣動條上安裝兩個對向設(shè)置的限位卡條，所述阻擋片的兩端滑動卡接在限位卡條中，所述夾頭安裝在阻擋片的側(cè)壁上，氣流微孔對阻擋片部位進行微氣流施壓，阻擋片在氣流的推力作用下進行緩速驅(qū)動，阻擋片帶動夾頭進行緩速移動對掩膜版的框架進行夾持，所述夾頭安裝在阻擋片的側(cè)壁上。

優(yōu)選的，所述氣動條上連接有輸氣管，兩組氣動條連接的輸氣管通過同一根管道進行輸氣，該管道上安裝流量控制閥，通過流量控制閥同時控制兩組氣動條的氣流流速。

優(yōu)選的，所述阻擋片的兩端上下側(cè)連接有滑動塊，所述限位卡條外側(cè)設(shè)有卡槽，所述滑動塊可卡入卡槽中進行滑動，所述氣動條與阻擋片之間連接拉簧，阻擋片通過拉簧進行復(fù)位。