[發明專利]一種碳化硅粉投料方法及裝置與應用

有效

• 申請號: 202011545378.1
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN112725887B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 劉星;李加林;劉圓圓;周敏
• 申請（專利權）人: 山東天岳先進科技股份有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B29/36
• 代理公司: 北京君慧知識產權代理事務所(普通合伙) 11716
• 代理人: 馮妙娜

1.一種碳化硅粉投料方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

(1)將待填料容器移至于投料裝置內；

(2)向投料裝置內通入保護氣，在保護氣氣氛下，通過所述投料裝置上的進料通道向待填料容器進料，所述進料的速率為1～100Kg/min，控制投料裝置內的壓力為1.0×10²Pa～1.1×10⁵Pa；

所述保護氣選自氫氣和惰性氣體中的至少一種，所述保護氣的純度不小于99.99％，所述保護氣流通的流量為30～400mL/min。

2.根據權利要求1所述的碳化硅粉投料方法，其特征在于，所述惰性氣體選自氦氣、氖氣和氬氣中的至少一種；

所述保護氣的純度不小于99.999％；

所述保護氣流通的流量為50～300mL/min。

3.根據權利要求2所述的碳化硅粉投料方法，其特征在于，所述惰性氣體為氬氣。

4.根據權利要求1所述的碳化硅粉投料方法，其特征在于，步驟(2)中，進料過程中，控制投料裝置內的壓力為1.0×10²Pa～1.01×10⁵Pa。

5.根據權利要求1所述的碳化硅粉投料方法，其特征在于，步驟(2)中，所述進料的速率為5～50Kg/min。

6.根據權利要求1所述的碳化硅粉投料方法，其特征在于，步驟(1)中，還包括將投料裝置抽真空的步驟。

7.根據權利要求6所述的碳化硅粉投料方法，其特征在于，步驟(1)中，將待填料容器移至于投料裝置內后，對投料裝置抽真空。

8.根據權利要求7所述的碳化硅粉投料方法，其特征在于，步驟(2)中，向投料裝置內通入保護氣體，壓力穩定后，保持20～60min后，開始向待填料容器進料。

9.一種實現權利要求1～8任一項所述的方法的裝置，其特征在于，所述裝置包括投料腔體，所述投料腔體內用于放置待填料容器；

所述投料腔體上開設有進氣口，所述進氣口連接有保護氣管路；所述投料腔體上安裝有進料通道，所述進料通道貫穿投料腔體頂部并延伸到投料腔體內部；

所述進料通道內安裝有閥門組件，

所述閥門組件包括環形板以及若干擋板，所述環形板固定安裝在進料通道的出口端，所述擋板鉸接于環形板底端，且各個擋板能夠相互拼接或分離，各個擋板相互拼接形成用于封閉環形板的封板；

所述進料通道的口徑從進料通道的入口端向出口端逐漸減小。

10.根據權利要求9所述的碳化硅粉投料裝置，其特征在于，所述投料腔體內部底側設置有傳輸帶，所述傳輸帶上用于放置待填料容器；

所述進料通道的出口端高于待填料容器的頂端。

11.根據權利要求10所述的碳化硅粉投料裝置，其特征在于，所述投料腔體還開設有出氣口，所述出氣口與機械泵連接。

12.根據權利要求11所述的碳化硅粉投料裝置，其特征在于，所述投料腔體內部通過第一隔板分隔成準備區和工作區，所述進料通道貫穿工作區頂部并延伸到工作區內部。

13.根據權利要求12所述的碳化硅粉投料裝置，其特征在于，所述工作區開設有第一進氣口和第一出氣口，所述準備區開設有第二進氣口和第二出氣口；

所述第一進氣口與第一保護氣管路連接，所述第二進氣口與第二保護氣管路連接，第一保護氣管路和第二保護氣管路上均設置有控制閥。

14.根據權利要求12所述的碳化硅粉投料裝置，其特征在于，所述投料腔體內部通過第一隔板和第二隔板分隔成準備區、工作區和裝配區，所述進料通道貫穿工作區頂部并延伸到工作區內部。