[發明專利]一種壓電執行器在審
| 申請號: | 202011543792.9 | 申請日: | 2020-12-24 |
| 公開(公告)號: | CN112864305A | 公開(公告)日: | 2021-05-28 |
| 發明(設計)人: | 朱兆焱;秦小勇;石璐綠;張喆斯;田佳琦;石鵬 | 申請(專利權)人: | 廣東奧迪威傳感科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L41/187 | 分類號: | H01L41/187;H01L41/047 |
| 代理公司: | 廣州知順知識產權代理事務所(普通合伙) 44401 | 代理人: | 彭志堅 |
| 地址: | 511400 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 壓電 執行 | ||
1.一種壓電執行器,其特征在于,包括:
金屬基片,所述金屬基片上設有陶瓷片,所述陶瓷片上設有第一銅電極;
所述陶瓷片通過匹配層與所述金屬基片連接,所述陶瓷片與所述匹配層之間設有第二銅電極,所述第二銅電極與所述金屬基片連通;
所述第一銅電極設于所述陶瓷片上表面,所述陶瓷片上表面設有留邊部和所述第一銅電極;
所述第一銅電極的面積小于所述陶瓷片的面積。
2.如權利要求1所述的壓電執行器,其特征在于:所述第一銅電極和所述第二銅電極通過燒滲的方式將所述銅電極附于所述陶瓷片上。
3.如權利要求1所述的壓電執行器,其特征在于:所述第一銅電極和所述第二銅電極采用厚膜結構,所述銅電極的厚度為7~13微米。
4.如權利要求1所述的壓電執行器,其特征在于:所述第一銅電極和所述第二銅電極是由銅漿料形成,所述銅漿料由粒徑0.1~5.0um的銅粉及微量氧化物或者玻璃組成。
5.如權利要求1所述的壓電執行器,其特征在于:所述第一銅電極的表面積占所述陶瓷片表面積的75%~86%。
6.如權利要求1所述的壓電執行器,其特征在于:所述匹配層為膠水,所述膠水在所述陶瓷片與所述金屬基片粘貼時產生溢膠,所述溢膠在所述陶瓷片邊緣與所述金屬基片之間形成一個膠圈。
7.如權利要求1所述的壓電執行器,其特征在于:所述第一銅電極與所述金屬基片之間的表面涂一層阻焊絕緣保護漆,將所述第一銅電極與所述金屬基片間隔開。
8.如權利要求7所述的壓電執行器,其特征在于:所述阻焊絕緣保護漆的厚度為5~15微米。
9.如權利要求1所述的壓電執行器,其特征在于:所述壓電執行器的驅動電壓為非對稱的正負電壓。
10.如權利要求1所述的壓電執行器,其特征在于:所述第一銅電極上設有第一導電膠貼,所述金屬基片背側設有第二導電膠貼,所述第一導電膠貼和所述第二導電膠貼分別通過FPC引出負極和正極。
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