[發明專利]供電電路、半導體加工設備和供電控制方法

在審

• 申請號: 202011543645.1
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN112670960A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 王廣永;閆亮;宋俊超;劉東旭
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H02H7/20
• 分類號: H02H7/20;H02H3/06
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種供電電路，用于實現電源向半導體加工設備中的伺服模塊供電，其特征在于，包括切換模塊、延時模塊和開關模塊，其中，所述切換模塊用于在所述伺服模塊斷電時，將所述電源與所述延時模塊接通；

所述延時模塊用于在通電時開始計時，并在經過第一指定時長之后，將所述切換模塊與所述開關模塊接通，以使所述開關模塊通電；

所述開關模塊用于在通電時接收控制器發送的控制信號，并根據所述控制信號將所述延時模塊與所述伺服模塊接通，以使所述伺服模塊通電，且在經過第二指定時長之后斷開；所述伺服模塊在通電后觸發所述切換模塊將所述電源與所述延時模塊斷開，同時將所述電源與所述伺服模塊接通。

2.根據權利要求1所述的供電電路，其特征在于，所述切換模塊包括至少兩個，且結構相同，至少兩個所述切換模塊在所述伺服模塊斷電時，形成將所述電源與所述延時模塊接通的第一串聯電路；在被所述伺服模塊觸發時，形成將所述電源與所述伺服模塊接通的第二串聯電路，同時同步將所述電源與所述延時模塊斷開。

3.根據權利要求1或2所述的供電電路，其特征在于，所述切換模塊包括接觸器，所述接觸器包括主開關和四個輔助開關，其中，所述主開關的兩個觸點分別與所述電源的第一極和所述伺服模塊的電源輸出端電連接，所述主開關在所述伺服模塊斷電時處于斷開狀態；在所述伺服模塊通電時，被觸發切換至閉合狀態；

所述四個輔助開關分別為第一常閉開關、第二常閉開關、第一常開開關和第二常開開關，其中，所述第一常閉開關的兩個觸點分別與所述電源的第二極和所述延時模塊的電源輸入端電連接；

所述第二常閉開關的兩個觸點分別與所述電源的第二極和所述延時模塊的觸發信號端電連接；

所述第一常開開關的兩個觸點分別與所述電源的第二極和所述伺服模塊的電源輸入端電連接；

所述第二常開開關的兩個觸點分別與所述電源的第二極和所述控制器的信號輸入端電連接。

4.根據權利要求3所述的供電電路，其特征在于，所述延時模塊包括第一時間繼電器，所述第一時間繼電器的電源輸出端與所述開關模塊的電源輸入端電連接。

5.根據權利要求4所述的供電電路，其特征在于，所述開關模塊包括第二時間繼電器，所述第二時間繼電器的電源輸出端與所述伺服模塊的電源輸入端電連接；所述第二時間繼電器的觸發信號端與所述控制器的信號輸出端電連接。

6.根據權利要求5所述的供電電路，其特征在于，所述伺服模塊包括伺服設備和切斷開關，其中，所述切斷開關串聯在所述開關模塊與所述伺服設備之間，且所述切斷開關的電源輸入端與所述第二時間繼電器的電源輸出端電連接，所述切斷開關的電源輸出端與所述伺服模塊的電源輸入端及所述主開關的觸點電連接；所述切斷開關用于接通或斷開所述第二時間繼電器與所述伺服設備之間的電連接，以及觸發所述主開關。

7.根據權利要求6所述的供電電路，其特征在于，所述伺服模塊還包括互鎖機構，所述互鎖機構串聯在所述開關模塊與所述切斷開關之間，用于在異常時斷開所述開關模塊與所述切斷開關之間的電連接。

8.根據權利要求1所述的供電電路，其特征在于，所述第一指定時長大于或等于60s。

9.根據權利要求1所述的供電電路，其特征在于，所述第二指定時長大于或等于2s。

10.一種半導體加工設備，包括伺服模塊和用于向所述伺服模塊提供電能的電源，其特征在于，還包括控制器和權利要求1-9任意一項所述的供電電路，所述控制器用于控制所述供電電路向所述伺服模塊供電。

11.一種供電控制方法，其特征在于，用于控制權利要求1-8所述的供電電路向伺服模塊供電，所述供電控制方法包括：

向所述開關模塊發送控制信號；

判斷所述延時模塊的計時是否達到所述第一指定時長；

若否，則所述控制信號無法發送，流程結束；

若是，則所述控制信號發送成功，所述開關模塊根據所述控制信號將所述延時模塊與所述伺服模塊接通，以使所述伺服模塊通電，且在經過第二指定時長之后斷開；

判斷所述切換模塊是否在所述第二指定時長內將所述電源與所述延時模塊斷開，同時將所述電源與所述伺服模塊接通；若是，則所述伺服模塊保持通電；若否，則取消所述控制信號，并拋出報警。