[發明專利]一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置

在審

• 申請號: 202011543508.8
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN112847178A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 陳星星
• 申請（專利權）人: 泗陽垠創運營管理有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;F16F15/06
• 代理公司: 宿遷市永泰睿博知識產權代理事務所(普通合伙) 32264
• 代理人: 陳科巧

1.一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）頂部的中心處栓接有放置臺（2），所述底座（1）頂部的兩側均栓接有支撐架（3），所述支撐架（3）的頂部栓接有頂座（4），所述頂座（4）正面的左側栓接有控制器（5），所述頂座（4）頂部的中心處栓接有推桿氣缸（6），所述推桿氣缸（6）的活塞桿貫穿頂座（4）并栓接有移動座（7），所述移動座（7）的表面設置有吸附固定機構（8），所述移動座（7）的兩側均栓接有連接架（9），所述連接架（9）遠離移動座（7）的一側栓接有輔助架（10），所述輔助架（10）的內腔設置有防擋機構（11）。

2.根據權利要求1所述的一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置，其特征在于：所述吸附固定機構（8）包括滑桿（81）、支撐板（82）、復位彈簧（83）、升降板（84）、吸泵（85）、五通接頭（86）、氣管（87）和氣動吸盤（88），所述移動座（7）內腔的四周均嵌設有滑筒，且滑筒的內腔滑動連接有滑桿（81），所述滑桿（81）的頂部栓接有支撐板（82），所述支撐板（82）和移動座（7）相向的兩側均栓接有復位彈簧（83），所述滑桿（81）的底部貫穿移動座（7）并栓接有升降板（84），所述升降板（84）頂部的中心處栓接有吸泵（85），所述吸泵（85）的出氣口連通有五通接頭（86），所述五通接頭（86）的四端均連通有氣管（87），所述氣管（87）遠離五通接頭（86）的一端貫穿升降板（84）并連通有氣動吸盤（88）。

3.根據權利要求1所述的一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置，其特征在于：所述防擋機構（11）包括通槽（111）、滑槽（112）、電動推桿（113）、遮擋座（114）、滑塊（115）、限位墊（116）和壓力傳感器（117），所述輔助架（10）相向的底部開設有通槽（111），所述輔助架（10）內腔的底部從前至后依次開設有滑槽（112），所述輔助架（10）外側的頂部栓接有電動推桿（113），所述電動推桿（113）的活塞桿貫穿輔助架（10）并栓接有遮擋座（114），所述遮擋座（114）的底部從前至后依次栓接有與滑槽（112）滑動配合的滑塊（115），所述底座（1）頂部的兩側均栓接有限位墊（116），所述限位墊（116）內腔的中心處嵌設有壓力傳感器（117）。

4.根據權利要求2所述的一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置，其特征在于：所述氣管（87）和氣動吸盤（88）沿升降板（84）的中心處呈軸對稱狀態分布，所述氣管（87）的材質為鋼管。

5.根據權利要求3所述的一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置，其特征在于：所述遮擋座（114）的形狀設置為直角狀，所述遮擋座（114）相向的一側栓接有防護海綿墊。

6.根據權利要求1所述的一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置，其特征在于：所述支撐架（3）四周的頂部均栓接有連接座（12），所述連接座（12）遠離支撐架（3）的一側栓接有滑柱（13），所述滑柱（13）的底部與底座（1）的頂部栓接，所述滑柱（13）的表面滑動連接有滑套（14），所述滑套（14）的內側栓接有連接桿（15），所述連接桿（15）遠離滑套（14）的一側與輔助架（10）的表面栓接，所述滑柱（13）的頂部套設有緩沖彈簧（16），所述緩沖彈簧（16）的外側分別與滑套（14）和連接座（12）的內側栓接。

7.根據權利要求1所述的一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置，其特征在于：所述頂座（4）頂部的兩側均栓接有提手（17），所述提手（17）的表面套設有防護套，且防護套的材質為海綿套。

8.根據權利要求1所述的一種防掉落效果好的半導體器件制造用夾持裝置，其特征在于：所述底座（1）底部的兩側均栓接有支撐腳（18），所述支撐腳（18）的底部栓接有防滑墊，且防滑墊的底部一體成型有防滑齒。