[發明專利]一種光尋址電位傳感器蜂巢網狀工作電極的制備方法

在審

• 申請號: 202011542569.2
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN112763557A
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 劉詩斌;檀杰;羅杰璋;陳穎豪
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G01N27/30
• 分類號: G01N27/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光尋址電位傳感器蜂巢網狀工作電極的制備方法，其特征在于包括以下步驟：

步驟一：選用p型或者n型Si作為LAPS的襯底，襯底經去離子水、乙醇和丙酮超聲清洗。

步驟二：將清洗后的硅片進行熱氧化和化學氣相沉積，形成厚度為50nm的SiO₂和厚度為50nm的Si₃N₄。

步驟三：將雙面氧化氮化的硅片一面的SiO₂和Si₃N₄薄膜經49％的HF刻蝕從而漏出硅襯底。

步驟四：將刻蝕完后的硅片分別用去離子水、乙醇和丙酮超聲清洗并浸入食人魚溶液[H₂O₂(30％):H₂SO₄(98％)＝3:7,v/v]中90℃加熱1個小時。

步驟五：將從食人魚溶液中取出的硅片用去離子水清洗三次，氮氣吹干，并儲存在去離子水中備用。

步驟六：PS膠體懸浮液在使用前超聲分散并稀釋至1w.t.％。

步驟七：根據PS膠體球直徑的大小分別以不同的體積比將PS膠體懸浮液與甲醇進行混合?；旌系谋壤秶橛?：10和10：10之間。

步驟八：用移液槍將PS/甲醇混合液緩慢滴加到聚乙烯容器的氣液界面。

步驟九：待整個體系靜置10分鐘后用移液槍沿著容器壁緩慢加入少量濃度為0.357mM的Triton X-100。此時PS膠體球聚合并迅速集中收縮形成單層膜。

步驟十：將硅片從去離子水中取出用被刻蝕的那一面以一定角度緩慢地撈起聚乙烯容器水面的PS膠體單層膜，在室溫下干燥。

步驟十一：在干燥后的PS膠體單層膜上采用磁控濺射技術沉積Cr和Au薄膜。

步驟十二：將沉積了金屬的硅片浸泡在二甲苯中超聲1分鐘去除膠體球模板。