[發(fā)明專利]晶圓水平鍍膜噴杯中攪拌鍍液的旋轉(zhuǎn)剪切機(jī)構(gòu)工作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011541032.4
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN112725867A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王殿;孟超;常志;郝鵬飛
• 申請（專利權(quán)）人: 西北電子裝備技術(shù)研究所（中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所）
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D21/10;C25D7/12;C25D5/08;C25D21/04
• 代理公司: 山西華炬律師事務(wù)所 14106
• 代理人: 陳奇

1.一種晶圓水平鍍膜噴杯中攪拌鍍液的旋轉(zhuǎn)剪切機(jī)構(gòu)工作方法，包括在長方體形噴杯杯體（2）內(nèi)，分別設(shè)置有鍍液腔體（15）和驅(qū)動機(jī)構(gòu)安裝腔體（16），鍍液腔體（15）的右側(cè)端與驅(qū)動機(jī)構(gòu)安裝腔體（16）的左側(cè)端連通在一起，在鍍液腔體（15）的頂端，設(shè)置有鍍液腔體頂端口陰極定位環(huán)形圈（3），在鍍液腔體頂端口陰極定位環(huán)形圈（3）上，設(shè)置有環(huán)形陰極片（4），在環(huán)形陰極片（4）上設(shè)置有環(huán)形陰極片壓塊（6），環(huán)形陰極片壓塊（6）壓接在環(huán)形陰極片（4）上后，形成有陰極片內(nèi)側(cè)環(huán)形臺階（8），在陰極片內(nèi)側(cè)環(huán)形臺階（8）上搭接有被電鍍的晶圓（5）；在鍍液腔（15）的內(nèi)側(cè)壁上，沿水平方向，固定設(shè)置的內(nèi)側(cè)齒圈（21），在內(nèi)側(cè)齒圈（21）正下方的鍍液腔（15）的內(nèi)側(cè)壁上，設(shè)置有從動外齒圈旋轉(zhuǎn)支撐環(huán)形軌道（20），在從動外齒圈旋轉(zhuǎn)支撐環(huán)形軌道（20）上，活動設(shè)置有從動外齒圈（23），從動外齒圈（23）通過其下底面上設(shè)置的從動外齒圈環(huán)形凸起（24）與從動外齒圈旋轉(zhuǎn)支撐環(huán)形軌道（20）活動配合在一起，在從動外齒圈（23）的內(nèi)側(cè)立面上分別設(shè)置有左向內(nèi)懸臂（32）和右向內(nèi)懸臂（40）；在左向內(nèi)懸臂（32）上分別設(shè)置有左中介齒輪中心軸承（37）和左剪切葉驅(qū)動齒輪中心軸承（33），在左剪切葉驅(qū)動齒輪中心軸承（33）的外圈（34）上套接有左剪切葉驅(qū)動齒輪（35），在左中介齒輪中心軸承（37）的外圈上套接有左中介齒輪（38），左剪切葉驅(qū)動齒輪（35）與左中介齒輪（38）嚙合在一起，左中介齒輪（38）與內(nèi)側(cè)齒圈（21）嚙合在一起，在左剪切葉驅(qū)動齒輪中心軸承（33）的外圈（34）的頂端固定連接有左十字形剪切葉（36）；在右向內(nèi)懸臂（40）上分別設(shè)置有右中介齒輪中心軸承（45）和右剪切葉驅(qū)動齒輪中心軸承（41），在右剪切葉驅(qū)動齒輪中心軸承（41）的外圈（42）上套接有右剪切葉驅(qū)動齒輪（43），在右中介齒輪中心軸承（45）的外圈上套接有右中介齒輪（46），右剪切葉驅(qū)動齒輪（43）與右中介齒輪（46）嚙合在一起，右中介齒輪（46）與內(nèi)側(cè)齒圈（21）嚙合在一起，在右剪切葉驅(qū)動齒輪中心軸承（41）的外圈（42）的頂端固定連接有右十字形剪切葉（44）；右中介齒輪（46）的直徑大于左中介齒輪（38）的直徑；在從動外齒圈（23）的右側(cè)設(shè)置有主動外齒圈（25），主動外齒圈（25）與從動外齒圈（23）嚙合在一起，主動外齒圈（25）與鍍液攪拌驅(qū)動電機(jī)（30）機(jī)械連接在一起；其特征在于以下步驟：

（一）鍍液攪拌驅(qū)動電機(jī)（30）帶動內(nèi)磁轉(zhuǎn)子（29）旋轉(zhuǎn)，內(nèi)磁轉(zhuǎn)子（29）通過磁力作用，帶動外磁轉(zhuǎn)子套（27）旋轉(zhuǎn)，在外磁轉(zhuǎn)子套（27）上連接的主動外齒圈（25）也隨外磁轉(zhuǎn)子套（27）旋轉(zhuǎn)，與主動外齒圈（25）嚙合的從動外齒圈（23）開始旋轉(zhuǎn)，從而帶動從動外齒圈（23）上的左向內(nèi)懸臂（32）和右向內(nèi)懸臂（40）一起旋轉(zhuǎn)，在從動外齒圈（23）旋轉(zhuǎn)時，在左向內(nèi)懸臂（32）上安裝的左中介齒輪（38），由于與內(nèi)側(cè)齒圈（21）嚙合在一起，隨從動外齒圈（23）旋轉(zhuǎn)而自轉(zhuǎn)，左中介齒輪（38）的自傳，帶動左剪切葉驅(qū)動齒輪（35）自轉(zhuǎn)，從而帶動左十字形剪切葉（36）自轉(zhuǎn)；在右向內(nèi)懸臂（40）上設(shè)置的右十字形剪切葉（44），也同樣隨從動外齒圈（23）旋轉(zhuǎn)而自轉(zhuǎn)；左十字形剪切葉（36）和右十字形剪切葉（44）即自傳又公轉(zhuǎn)，實現(xiàn)了對鍍液中電力線的剪切打散，使晶圓表面離子濃度和流速均勻；

（二）左十字形剪切葉（36）的頂端面和右十字形剪切葉（44）的頂端面，與被電鍍的晶圓（5）的距離均小于或等于5毫米；右中介齒輪（46）的直徑大于左中介齒輪（38）的直徑，使左十字形剪切葉（36）的運動路線，與右十字形剪切葉（44）的運動路線，不重合，實現(xiàn)了對晶圓工藝孔的孔壁上析出的氫氣泡的吸出。