[發明專利]顯示設備

在審

• 申請號: 202011536096.5
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN113161386A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 孫世完;高武恂;樸智煉;安珍星;禹珉宇;李圣俊;李旺宇;李廷洙;李知嬗;池得明
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 宋穎娉;康泉

一種顯示設備，包括：包括顯示區域和外圍區域的基板、半導體元件、像素結構以及多個虛設圖案。半導體元件被設置在基板上顯示區域中，并且像素結構被設置在半導體元件上。具有堆疊結構的虛設圖案被設置在基板上外圍區域中，并且包含與構成半導體元件的材料相同的材料。虛設圖案以柵格形狀布置在不同層中，并且虛設圖案中的每個包括中央部分以及圍繞中央部分的邊緣部分。虛設圖案中的在不同層中彼此鄰近的虛設圖案的邊緣部分在從基板到像素結構的方向上彼此重疊。

技術領域

本公開總的來說涉及一種顯示設備，并且更具體地，涉及一種包括多個虛設圖案的顯示設備。

背景技術

由于其輕且薄的特性，平板顯示設備被用作用于替代陰極射線管顯示設備的顯示設備。作為這種平板顯示設備的代表性示例，存在液晶顯示設備和有機發光二極管顯示設備。

顯示設備可以包括顯示區域以及圍繞顯示區域的外圍區域。半導體元件和像素結構可以被設置在顯示區域中，并且布線和焊盤電極等可以被設置在外圍區域中。當在制造顯示設備的工藝中對包括在半導體元件中的有源層和柵電極(例如，圖案)等進行蝕刻時，顯示區域的中央部分(例如，第一區域)中以及與外圍區域鄰近的顯示區域(例如，第二區域)中圖案的尺寸(例如，圖案的寬度)可以彼此不同。例如，由于相對多的半導體元件被設置在第一區域中，因此在第一區域中可以存在相對多的蝕刻目標圖案，并且由于第二區域與外圍區域鄰近，因此在第二區域中可以存在相對少的蝕刻目標圖案。換句話說，第一區域和第二區域中圖案的密度可以彼此不同，并且用于對圖案進行蝕刻的蝕刻劑的濃度在第二區域中可以相對低于在第一區域中。在這種情況下，形成在第二區域中的圖案的尺寸可能相對大，并且圖案可能被短路。

發明內容

本公開提供了一種包括多個虛設圖案的顯示設備。

根據一些示例實施例，顯示設備包括基板、半導體元件、像素結構以及多個虛設圖案。基板具有顯示區域和外圍區域。半導體元件被設置在基板上顯示區域中。像素結構被設置在半導體元件上。虛設圖案被設置在基板上外圍區域中，并且具有與構成半導體元件的材料相同的材料。虛設圖案具有堆疊結構。虛設圖案以柵格形狀布置在不同層中，并且虛設圖案中的每個包括中央部分以及圍繞中央部分的邊緣部分。虛設圖案中的在不同層中彼此鄰近的虛設圖案的邊緣部分在從基板到像素結構的方向上彼此重疊。

在示例性實施例中，在不同層中彼此鄰近的虛設圖案的中央部分可以彼此不重疊。

在示例實施例中，顯示設備可以進一步包括設置在虛設圖案和基板之間的有源圖案。有源圖案可以以柵格形狀布置，并且可以與虛設圖案的至少一部分重疊。

在示例實施例中，虛設圖案可以包括參考虛設圖案、下虛設圖案、中間虛設圖案以及上虛設圖案。參考虛設圖案可以以第一間距彼此間隔開。下虛設圖案可以被設置在參考虛設圖案上，并且可以以第一間距彼此間隔開。下虛設圖案可以與參考虛設圖案中的每個的第一角部、第二角部、第三角部和第四角部重疊。中間虛設圖案可以被設置在下虛設圖案上，并且可以以第一間距彼此間隔開。中間虛設圖案可以與參考虛設圖案中的每個的第一側部和第二側部以及下虛設圖案中的每個的第一側部和第二側部重疊。上虛設圖案可以被設置在中間虛設圖案上，并且可以以第一間距彼此間隔開。上虛設圖案可以與參考虛設圖案中的每個的第三側部和第四側部、下虛設圖案中的每個的第三側部和第四側部以及中間虛設圖案中的每個的第一角部、第二角部、第三角部和第四角部重疊。在參考虛設圖案和下虛設圖案中的每個中，第一側部可以面對第二側部，并且第三側部可以面對第四側部。

在示例實施例中，參考虛設圖案、下虛設圖案、中間虛設圖案以及上虛設圖案可以具有相同的形狀。

在示例實施例中，在參考虛設圖案中的每個中，第一側部的兩端可以分別包括第一角部和第二角部，第二側部的兩端可以分別包括第三角部和第四角部，第三側部的兩端可以分別包括第一角部和第三角部，并且第四側部的兩端可以分別包括第二角部和第四角部。