[發(fā)明專利]一種三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011532694.5
• 申請日: 2020-12-22
• 公開（公告）號: CN112747844B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄧元;俞佳杰;張珂;楊杰;張帥
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)杭州創(chuàng)新研究院
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G01L1/14;G01L1/18;G01K7/00;G01K7/16;H01L35/32;H01L35/34;H01L41/113;H01L41/33
• 代理公司: 南京知識律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 劉豐;熊敏敏

1.一種三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列依次包括上電極、敏感極和下電極，所述三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法包括：

用乙醇擦洗基底，在潔凈的基底上粘上雙面膠；

使用激光在所述雙面膠上直寫預(yù)設(shè)的電極圖案，去除相應(yīng)區(qū)域的雙面膠；

將電極漿料均勻涂覆在所述去除雙面膠后的區(qū)域，確保電極漿料厚度與基底上剩余雙面膠厚度一致；

將所述電極漿料加熱固化，去除所述剩余雙面膠的保護層，保留剩余雙面膠的粘性層，得到帶有雙面膠粘性層的陣列化電極圖案，作為所述上電極或下電極；

將所述敏感層兩面分別對準(zhǔn)所述上電極和下電極，通過上電極或下電極上所述剩余雙面膠粘性層貼合在一起。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述基底是柔性高分子、陶瓷、不銹鋼、硅片、石英或玻璃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述激光的脈沖寬度是200fs～20ps，光斑直徑是10μm～50μm，激光的功率是≤500mW，激光的掃描速度是100mm/s～500mm/s，激光加工次數(shù)是10次～800次。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述雙面膠是PI、PE或PET，厚度≤100μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述將電極漿料均勻涂覆在所述去除雙面膠后的區(qū)域，確保電極漿料厚度與基底上剩余雙面膠厚度一致采用絲網(wǎng)印刷、噴墨打印、噴涂或刮刀法實現(xiàn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述電極漿料為導(dǎo)電金屬漿料、導(dǎo)電碳漿或?qū)щ娋酆衔铩?/p>

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述加熱固化的溫度為60℃～150℃。

8.如權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述陣列化電極圖案的線寬≥50μm，線間距≥50μm。

9.如權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，所述敏感層采用壓阻材料、壓電材料、電容材料、熱阻材料或熱電材料制成。

10.如權(quán)利要求1所述的三明治結(jié)構(gòu)觸覺傳感陣列制備方法，其特征在于，敏感層由若干個獨立傳感單元組成。