[發(fā)明專利]一種微鏡器件及投影設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011531949.6
• 申請(qǐng)日: 2020-12-22
• 公開（公告）號(hào): CN112578554A
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市中科創(chuàng)激光技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08;H04N9/31;G03B21/00
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 白兆鋒

本申請(qǐng)公開了一種微鏡器件及投影設(shè)備，涉及微鏡技術(shù)領(lǐng)域，為解決相關(guān)技術(shù)中的微鏡器件中的微反射鏡單元占用空間較大的問(wèn)題而發(fā)明。該微鏡器件，包括安裝面、支架、微反射鏡以及驅(qū)動(dòng)裝置。所述安裝座包括安裝面，所述支架設(shè)置于所述安裝面上，所述微反射鏡相對(duì)所述安裝面傾斜設(shè)置，且通過(guò)轉(zhuǎn)軸與所述支架可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)軸設(shè)置于所述微反射鏡的中心處，且與所述安裝面相垂直，所述驅(qū)動(dòng)裝置被配置為驅(qū)動(dòng)所述微反射鏡相對(duì)所述支架旋轉(zhuǎn)。本申請(qǐng)可用于投影設(shè)備中。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及微鏡技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種微鏡器件及投影設(shè)備。

背景技術(shù)

微鏡器件是一種MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件，其基本原理是通過(guò)驅(qū)動(dòng)力使可以活動(dòng)的微鏡面發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，從而改變輸入光的傳播方向或相位。微鏡器件已經(jīng)廣泛用于光通訊中的光交換、光譜分析儀器和投影成像等各種領(lǐng)域。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)的實(shí)施例提供一種微鏡器件及投影設(shè)備，用于解決相關(guān)技術(shù)中的微鏡器件中的微反射鏡單元占用空間較大的問(wèn)題。

為達(dá)到上述目的，第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種微鏡器件，包括安裝面、支架、微反射鏡以及驅(qū)動(dòng)裝置。所述安裝座包括安裝面。所述支架設(shè)置于所述安裝面上。所述微反射鏡相對(duì)所述安裝面傾斜設(shè)置，且通過(guò)轉(zhuǎn)軸與所述支架可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)軸設(shè)置于所述微反射鏡的中心處，且與所述安裝面相垂直。所述驅(qū)動(dòng)裝置被配置為驅(qū)動(dòng)所述微反射鏡相對(duì)所述支架旋轉(zhuǎn)。

第二方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種投影設(shè)備，包括投影鏡頭、投影光源以及第一方面中所述的微鏡器件，所述微鏡器件的微反射鏡被配置為將所述投影光源所發(fā)出的光束反射至所述投影鏡頭中或者反射至所述投影鏡頭之外。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的微鏡器件及投影設(shè)備，由于微反射鏡通過(guò)轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于支架上，轉(zhuǎn)軸設(shè)置于微反射鏡的中心處，且與安裝面相垂直，也就是：支架是位于微反射鏡與安裝面之間，這樣支架就可以充分地利用微反射鏡與安裝面之間的空間，大大減少了對(duì)微反射鏡外圍空間的占用，從而有利于減小微反射鏡單元在安裝面上的占用空間，進(jìn)而就可以增加安裝座上微反射鏡單元的設(shè)置的數(shù)目，而微反射鏡單元數(shù)目的增加，則有利于提高投影設(shè)備所投射畫面的質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本申請(qǐng)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請(qǐng)一些實(shí)施例中的投影設(shè)備的原理圖；

圖2為相關(guān)技術(shù)中的一種微鏡器件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本申請(qǐng)一些實(shí)施例中的微鏡器件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖3所示的微鏡器件的側(cè)視圖；

圖5為本申請(qǐng)一些實(shí)施例中的微反射鏡單元的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為圖5的縱向剖面視圖；

圖7為本申請(qǐng)一些實(shí)施例中支架的結(jié)構(gòu)的示意圖；

圖8為本申請(qǐng)一些實(shí)施例中驅(qū)動(dòng)裝置在安裝座以及微反射鏡上設(shè)置位置示意圖；

圖9為本申請(qǐng)一些實(shí)施例中微鏡電極、安裝座電極結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為本申請(qǐng)另一些實(shí)施例中微鏡電極、安裝座電極結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11為本申請(qǐng)另一些實(shí)施例中微鏡電極、安裝座電極結(jié)構(gòu)示意圖；

圖12為本申請(qǐng)另一些實(shí)施例中微鏡電極、安裝座電極結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式