[發(fā)明專利]反應(yīng)管固定模組與反應(yīng)爐

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011527301.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112648490A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李時(shí)俊;李學(xué)文;劉兵吉;王郴意
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號(hào): F16M11/04
• 分類號(hào): F16M11/04;F16M11/10;F16M11/18;F27B17/00;H01L21/67
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 謝岳鵬

本發(fā)明公開(kāi)了一種反應(yīng)管固定模組與反應(yīng)爐，反應(yīng)管固定模組包括反應(yīng)管、套接件與至少兩個(gè)柔性支撐件：套接件用于與外部構(gòu)件連接，套接件套接在反應(yīng)管的外側(cè)，且與反應(yīng)管之間具有間隙；柔性支撐件套接在反應(yīng)管的外側(cè)，位于間隙內(nèi)且分別與反應(yīng)管以及套接件接觸，各柔性支撐件沿反應(yīng)管的軸向分布。本發(fā)明實(shí)施例的反應(yīng)管固定模組中，套接件通過(guò)至少兩個(gè)沿反應(yīng)管的軸向分布的柔性支撐件支撐反應(yīng)管，可以避免反應(yīng)管與硬質(zhì)的套接件直接接觸而發(fā)生破裂，至少兩個(gè)柔性支撐件能夠提供多個(gè)支撐位置，從而均衡反應(yīng)管的受力，減少反應(yīng)管支撐位置的壓強(qiáng)，實(shí)現(xiàn)反應(yīng)管的穩(wěn)定放置。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓制造領(lǐng)域，尤其是涉及反應(yīng)管固定模組與反應(yīng)爐。

背景技術(shù)

隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備需求也越來(lái)越大，晶圓的處理通過(guò)在反應(yīng)管中的進(jìn)行，在某些場(chǎng)合需要對(duì)反應(yīng)管的一端進(jìn)行固定，另一端保持懸空，相關(guān)技術(shù)中通常采用法蘭盤(pán)實(shí)現(xiàn)端部固定，由于反應(yīng)管的固定端需要承受較大的作用力，且反應(yīng)管由易碎的材質(zhì)(例如石英)制成，因此與法蘭盤(pán)接觸后容易碎裂。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本發(fā)明提出一種反應(yīng)管固定模組，能夠避免反應(yīng)管碎裂。

本發(fā)明還公開(kāi)了應(yīng)用上述反應(yīng)管固定模組的反應(yīng)爐。

根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的反應(yīng)管固定模組，包括：

反應(yīng)管；

套接件，用于與外部構(gòu)件連接，所述套接件套接在所述反應(yīng)管的外側(cè)，且與所述反應(yīng)管之間具有間隙；

至少兩個(gè)柔性支撐件，所述柔性支撐件套接在所述反應(yīng)管的外側(cè)，位于所述間隙內(nèi)且分別與所述反應(yīng)管以及所述套接件接觸，各所述柔性支撐件沿所述反應(yīng)管的軸向分布。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的反應(yīng)管固定模組，至少具有如下有益效果：

套接件通過(guò)至少兩個(gè)沿反應(yīng)管的軸向分布的柔性支撐件支撐反應(yīng)管，可以避免反應(yīng)管與硬質(zhì)的套接件直接接觸而發(fā)生破裂，至少兩個(gè)柔性支撐件能夠提供多個(gè)支撐位置，從而均衡反應(yīng)管的受力，減少反應(yīng)管支撐位置的壓強(qiáng)，實(shí)現(xiàn)反應(yīng)管的穩(wěn)定放置。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述套接件具有第一環(huán)形槽，所述第一環(huán)形槽內(nèi)具有所述柔性支撐件；

所述反應(yīng)管固定模組還包括第一連接件，所述第一連接件套接在所述反應(yīng)管的外側(cè)，且與所述套接件連接，以將所述柔性支撐件限制在對(duì)應(yīng)的所述第一環(huán)形槽內(nèi)。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述第一連接件能夠擠壓對(duì)應(yīng)的所述柔性支撐件，以使所述柔性支撐件沿所述反應(yīng)管的徑向伸展。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述第一連接件具有伸入所述第一環(huán)形槽內(nèi)的擠壓部，沿所述擠壓部的伸入方向，所述第一環(huán)形槽的槽壁與所述反應(yīng)管之間的距離逐漸縮小。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述反應(yīng)管固定模組還包括柔性填充件，所述柔性填充件填充于所述間隙內(nèi)，且與所述反應(yīng)管接觸。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述柔性填充件為導(dǎo)熱硅膠。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述反應(yīng)管固定模組還包括高度調(diào)節(jié)件，所述高度調(diào)節(jié)件與所述套接件連接，支撐于所述反應(yīng)管的下方，能夠沿豎直方向運(yùn)動(dòng)。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述高度調(diào)節(jié)件包括安裝部與調(diào)節(jié)部，所述安裝部與所述套接件連接，所述調(diào)節(jié)部與所述安裝部連接，具有與所述反應(yīng)管接觸的內(nèi)凹弧面，所述調(diào)節(jié)部的硬度小于所述安裝部的硬度。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述套接件具有第一散熱腔，以及與所述第一散熱腔連通的第一入口與第一出口，所述第一入口用于通入散熱介質(zhì)，以對(duì)各所述柔性支撐件進(jìn)行散熱。