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[發(fā)明專利]電磁感應(yīng)型編碼器及其使用方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 202011523982.4 申請(qǐng)日: 2020-12-22
公開(公告)號(hào): CN113091778B 公開(公告)日: 2023-09-22
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 久保園纮士 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 株式會(huì)社三豐
主分類號(hào): G01D5/20 分類號(hào): G01D5/20
代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 代理人: 鄧亞楠
地址: 日本神*** 國(guó)省代碼: 暫無(wú)信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 電磁感應(yīng) 編碼器 及其 使用方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種電磁感應(yīng)型編碼器,包括:

檢測(cè)頭和標(biāo)尺,所述檢測(cè)頭和標(biāo)尺彼此面對(duì)并且相對(duì)于彼此在測(cè)量軸上相對(duì)地移動(dòng),

其中,所述檢測(cè)頭具有被配置為相對(duì)于第一軌道產(chǎn)生磁通量的第一收發(fā)器線圈以及被配置為相對(duì)于第二軌道產(chǎn)生磁通量的第二收發(fā)器線圈,

其中,所述標(biāo)尺具有第一多個(gè)周期性元件以及第二多個(gè)周期性元件,所述第一多個(gè)周期性元件是相對(duì)于所述第一軌道在測(cè)量軸上周期性地排列的導(dǎo)體,所述第二多個(gè)周期性元件是相對(duì)于所述第二軌道在測(cè)量軸上周期性地排列的導(dǎo)體,

其中,所述第一多個(gè)周期性元件的周期與所述第二多個(gè)周期性元件的周期不同,

其中,所述檢測(cè)頭具有接收器線圈,所述接收器線圈從所述第一軌道連續(xù)延伸到所述第二軌道、與由所述第一多個(gè)周期性元件產(chǎn)生的磁通量和由所述第二多個(gè)周期性元件產(chǎn)生的磁通量電磁耦合、并且檢測(cè)由所述第一多個(gè)周期性元件產(chǎn)生的磁通量的相位和由所述第二多個(gè)周期性元件產(chǎn)生的磁通量的相位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁感應(yīng)型編碼器,還包括:

發(fā)送信號(hào)生成器,被配置為將第一發(fā)送信號(hào)發(fā)送到所述第一軌道的第一收發(fā)器線圈,并且將第二發(fā)送信號(hào)發(fā)送到所述第二軌道的第二收發(fā)器線圈;以及

位移量測(cè)量器,被配置為基于從所述接收器線圈輸出的信號(hào)來(lái)測(cè)量所述檢測(cè)頭與所述標(biāo)尺之間的相對(duì)位移量,

其中,所述發(fā)送信號(hào)生成器在將所述第一發(fā)送信號(hào)發(fā)送到所述第一收發(fā)器線圈時(shí)不將所述第二發(fā)送信號(hào)發(fā)送到所述第二收發(fā)器線圈,并且在將所述第二發(fā)送信號(hào)發(fā)送到所述第二收發(fā)器線圈時(shí)不將所述第一發(fā)送信號(hào)發(fā)送到所述第一收發(fā)器線圈。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁感應(yīng)型編碼器,其中,所述第一多個(gè)周期性元件的周期與所述第二多個(gè)周期性元件的周期沿著測(cè)量軸是不同的,或者所述第一多個(gè)周期性元件的位置與所述第二多個(gè)周期性元件的位置是不同的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁感應(yīng)型編碼器,其中,所述第一多個(gè)周期性元件通過(guò)導(dǎo)體彼此連接,

其中,所述第二多個(gè)周期性元件通過(guò)導(dǎo)體彼此連接,

其中,所述第一收發(fā)器線圈和所述第二收發(fā)器線圈具有布線,使得在所述第一多個(gè)周期性元件的每個(gè)和所述第二多個(gè)周期性元件的每個(gè)中產(chǎn)生在相反方向流動(dòng)的兩個(gè)或更多個(gè)渦電流。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電磁感應(yīng)型編碼器,其中,所述接收器線圈具有被配置為產(chǎn)生所述兩個(gè)或更多個(gè)渦電流的兩個(gè)或更多個(gè)線圈。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電磁感應(yīng)型編碼器,其中,所述第一多個(gè)周期性元件中的每個(gè)沒(méi)有連接到所述第二多個(gè)周期性元件中的每個(gè)。

7.一種電磁感應(yīng)型編碼器的使用方法,包括:

將第一發(fā)送信號(hào)發(fā)送到第一軌道的第一收發(fā)器線圈,而不將第二發(fā)送信號(hào)發(fā)送到第二軌道的第二收發(fā)器線圈;以及

將所述第二發(fā)送信號(hào)發(fā)送到所述第二收發(fā)器線圈,而不將所述第一發(fā)送信號(hào)發(fā)送到所述第一收發(fā)器線圈,

其中,所述電磁感應(yīng)型編碼器包括彼此面對(duì)且在測(cè)量軸上相對(duì)于彼此而相對(duì)地移動(dòng)的檢測(cè)頭和標(biāo)尺,

其中,所述檢測(cè)頭具有被配置為相對(duì)于所述第一軌道產(chǎn)生磁通量的所述第一收發(fā)器線圈和被配置為相對(duì)于所述第二軌道產(chǎn)生磁通量的所述第二收發(fā)器線圈,

其中,所述標(biāo)尺具有第一多個(gè)周期性元件和第二多個(gè)周期性元件,所述第一多個(gè)周期性元件是相對(duì)于所述第一軌道在測(cè)量軸上周期性地排列的導(dǎo)體,所述第二多個(gè)周期性元件是相對(duì)于所述第二軌道在測(cè)量軸上周期性地排列的導(dǎo)體,

其中,所述第一多個(gè)周期性元件的周期與所述第二多個(gè)周期性元件的周期不同,

其中,所述檢測(cè)頭具有接收器線圈,所述接收器線圈從所述第一軌道連續(xù)延伸到所述第二軌道、與由所述第一多個(gè)周期性元件產(chǎn)生的磁通量和由所述第二多個(gè)周期性元件產(chǎn)生的磁通量電磁耦合、并且檢測(cè)由所述第一多個(gè)周期性元件產(chǎn)生的磁通量的相位和由所述第二多個(gè)周期性元件產(chǎn)生的磁通量的相位。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其中,所述第一多個(gè)周期性元件中的每個(gè)沒(méi)有連接到所述第二多個(gè)周期性元件中的每個(gè)。

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