[發明專利]一種Plasma機器均勻性測試方法

有效

• 申請號: 202011523718.0
• 申請日: 2020-12-22
• 公開（公告）號: CN112781901B
• 公開（公告）日: 2023-08-11
• 發明（設計）人: 徐慧娟
• 申請（專利權）人: 東莞美維電路有限公司
• 主分類號: G01M99/00
• 分類號: G01M99/00
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 范小鳳

1.一種Plasma機器均勻性測試方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟一、準備若干測試片，將測試片在135℃下烘烤30min，之后放進干燥皿里冷卻至常溫，將冷卻后的測試片進行稱重并做標記；

步驟二、準備三覆銅治具板及若干覆銅假板，將若干測試片分別放進做好的覆銅治具板內，每一覆銅冶具板上裝有9塊測試片，橫、豎各排列3塊，每一橫排測試片為一個區域；

步驟三、測試片上板位置及方式，測試片上板位置及方式包括針對板邊及板中的測試位置及方式；所述Plasma機器內設有一腔體，所述腔體的兩相對側面上設有一進氣孔及一出氣孔；該腔體內設置有若干鋁框，若干鋁框沿進氣孔、出氣孔排列方向排列；每一鋁框內能夠并列放置兩覆銅冶具板或兩覆銅假板或一覆銅冶具板、一覆銅假板；其中，針對板邊時，將三組覆銅冶具板及若干覆銅假板放置于Plasma機器內；三覆銅冶具板分別裝設于不同的鋁框內，且第一覆銅冶具板與第二覆銅冶具板之間放置有六排裝有覆銅假板的鋁框，第二覆銅冶具板與第三覆銅冶具板之間放置有五排裝有覆銅假板的鋁框，此外，每一覆銅冶具板所在的鋁框內還并列裝設有一覆銅假板；

針對板中時，三覆銅冶具板間隔裝設于鋁框中部，且覆銅冶具板正對進氣孔、出氣孔設置，覆銅冶具板外側及兩覆銅冶具板之間的鋁框內均并列裝設有兩覆銅假板；

步驟四、進行Plasma機器均勻性測試；

步驟五、Plasma機器均勻性測試做完后，將測試片自覆銅冶具板內拆下，然后將測試片在135℃進行烘烤30min，之后放進干燥皿里冷卻至常溫，再對測試片進行稱重；

步驟六、結果計算，每一覆銅冶具板上的三個測試片為一個區域，則三覆銅冶具板共計有九個區域，九個區域的測試結果百分比均需≥70%才算合格；

測試結果比例=1-（區域重量最大值-區域重量最小值）/（2*重量平均值）；其中區域重量最大值為Plasma均勻性測試后一個區域三個測試片稱重的最大值，區域重量最小值為Plasma均勻性測試后一個區域三個測試片稱重的最小值，而重量平均值則為最大值與最小值的平均。

2.如權利要求?1?所述的一種?Plasma?機器均勻性測試方法，其特征在于：所述測試片的四角用高溫膠帶粘貼固定。

3.如權利要求?1?所述的一種?Plasma?機器均勻性測試方法，其特征在于：所述覆銅冶具板由覆銅拖缸板制作而成。