[發明專利]加速度傳感器及電子設備

在審

• 申請號: 202011522818.1
• 申請日: 2020-12-21
• 公開（公告）號: CN112730890A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 莊瑞芬;李剛
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08;G01P15/125
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司 11505
• 代理人: 秦衛中

1.一種加速度傳感器，其特征在于，包括：

襯底；

質量塊，其中，所述質量塊包括第一區域和第二區域，所述第一區域的面積等于所述第二區域的面積，所述第一區域的質量和所述第一區域的質心到所述第一區域和所述第二區域之間的分界線的距離的乘積，與所述第二區域的質量和所述第二區域的質心到所述分界線的距離的乘積不等，所述質量塊與所述襯底可動連接，所述質量塊可圍繞所述分界線扭轉。

2.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述第一區域上設置有至少一個孔。

3.根據權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，所述至少一個孔貫穿所述質量塊。

4.根據權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，所述至少一個孔中填充有第一材料，所述質量塊由第二材料制成，所述第一材料的密度大于所述第二材料的密度。

5.根據權利要求4所述的加速度傳感器，其特征在于，所述第一材料包括金屬材料。

6.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述第一區域的厚度等于所述第二區域的厚度。

7.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，還包括：

固定塊，所述固定塊設置在所述襯底上，其中，

所述質量塊上設置有彈簧梁，所述彈簧梁位于所述第一區域和所述第二區域之間，所述彈簧梁與所述固定塊連接。

8.根據權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，所述至少一個孔包括多個孔，所述多個孔的總面積小于或等于所述第一區域的面積的二分之一。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的加速度傳感器，其特征在于，所述襯底上設置有第一固定電極和第二固定電極，所述第一區域與所述第一固定電極構成第一電容，所述第二區域與所述第二固定電極構成第二電容，所述第一固定電極的面積等于所述第二固定電極的面積。

10.一種加速度傳感器，其特征在于，包括：

襯底；

質量塊，其中，所述質量塊包括第一區域和第二區域，所述第一區域的面積等于所述第二區域的面積，所述第一區域上設置有至少一個第一孔，所述質量塊與所述襯底可動連接，所述質量塊可圍繞所述第一區域和所述第二區域之間的分界線扭轉。

11.根據權利要求10所述的加速度傳感器，其特征在于，所述第二區域上設置有至少一個第二孔，所述至少一個第一孔和所述至少一個第二孔關于所述分界線呈不對稱分布。

12.根據權利要求10所述的加速度傳感器，其特征在于，所述至少一個第一孔為通孔或半通孔。

13.根據權利要求10至12中任一項所述的加速度傳感器，其特征在于，所述至少一個第一孔中填充有金屬材料。

14.一種電子設備，其特征在于，包括如權利要求1至13中任一項所述的加速度傳感器。