[發明專利]一種基于激光干涉成像檢測疏松體的系統

在審

• 申請號: 202011520273.0
• 申請日: 2020-12-21
• 公開（公告）號: CN112595720A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 鄧重輝
• 申請（專利權）人: 藤倉烽火光電材料科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 邱云雷

1.一種基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，其包括激光發生器(1)、分束鏡(2)、擴束機構(3)和檢測機構(4)；其中，

所述激光發生器(1)用于周期性地發出激光光束(5)；

所述分束鏡(2)用于將所述激光發生器(1)發出的激光光束(5)分成檢測光束(50)與參考光束(51)，并將所述檢測光束(50)和所述參考光束(51)分別傳輸至所述擴束機構(3)和所述檢測機構(4)；

所述擴束機構(3)用于將所述檢測光束(50)進行擴束，并射向疏松體(6)上的預設的檢測區域(60)內；

所述檢測機構(4)用于接收所述疏松體(6)反射的檢測光束(50)，以使所述檢測光束(50)與所述參考光束(51)產生干涉，并生成干涉圖像；且所述檢測機構(4)還用于根據所述干涉圖像，判斷所述檢測區域(60)內的疏松體(6)是否產生缺陷。

2.如權利要求1所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，所述擴束機構(3)包括第一擴束鏡(30)和第一驅動器(31)，所述第一驅動器(31)與所述第一擴束鏡(30)相連，并用于驅動所述第一擴束鏡(30)轉動，改變經過所述第一擴束鏡(30)的檢測光束(50)的覆蓋范圍，并使所述覆蓋范圍不小于所述檢測區域(60)的大小。

3.如權利要求2所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，該系統還包括控制器，所述控制器與所述第一驅動器(31)連接，并用于通過所述第一驅動器(31)控制所述第一擴束鏡(30)的轉動角度。

4.如權利要求3所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，該系統還包括第二擴束鏡(32)和第二驅動器(33)，所述第二驅動器(33)與所述第二擴束鏡(32)相連，并用于驅動所述第二擴束鏡(32)轉動，以改變所述參考光束(51)的覆蓋范圍。

5.如權利要求4所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，所述控制器還與所述第二驅動器(33)連接，并用于通過所述第二驅動器(33)控制所述第二擴束鏡(32)的轉動角度，以使所述第二擴束鏡(32)的轉動角度與所述第一擴束鏡(30)的轉動角度相等。

6.如權利要求1所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，所述分束鏡(2)具有透射面和反射面，所述透射面用于將所述激光發生器(1)發出的激光光束(5)中的一部分透射至所述擴束機構(3)，且該部分光束為檢測光束(50)；所述反射面用于將所述激光光束(5)中的剩余部分反射至所述檢測機構(4)，且該部分為參考光束(51)。

7.如權利要求1所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，該系統還包括反射鏡(8)，所述反射鏡(8)用于將所述分束鏡(2)射出的參考光束(51)反射至所述檢測機構(4)。

8.如權利要求1所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，該系統還包括第一凸透鏡(9)，所述第一凸透鏡(9)位于所述激光發生器(1)與所述分束鏡(2)之間，并用于將所述激光發生器(1)發出的激光光束(5)進行聚焦后發送至所述分束鏡(2)。

9.如權利要求1所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，該系統還包括第二凸透鏡(7)，所述第二凸透鏡(7)位于所述分束鏡(2)與所述擴束機構(3)之間，所述第二凸透鏡(7)用于將所述分束鏡(2)發出的檢測光束(50)進行聚焦后發送至所述擴束機構(3)。

10.如權利要求1所述的基于激光干涉成像檢測疏松體的系統，其特征在于，所述缺陷包括裂紋、鼓包和剝離。