[發(fā)明專利]一種PVC保護(hù)膜及其制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202011514235.4
• 申請日: 2020-12-21
• 公開（公告）號: CN112574681A
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳維林;劉泓銘;林志耿;任華偉
• 申請（專利權(quán)）人: 鏑普材料（深圳）有限公司
• 主分類號: C09J7/24
• 分類號: C09J7/24;C09J7/20;C09J7/50;C09J7/30;C09J133/04;C09D5/20
• 代理公司: 北京睿博行遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11297
• 代理人: 計(jì)小玲

本發(fā)明涉及保護(hù)膜技術(shù)領(lǐng)域，特指PVC保護(hù)膜及其制備方法,所述PVC保護(hù)膜其中一表面為光面，PVC保護(hù)膜另一表面為啞面；所述PVC保護(hù)膜的光面設(shè)置有非硅離型層；PVC保護(hù)膜的啞面涂隔離涂層；所述隔離涂層上遠(yuǎn)離PVC保護(hù)膜的表面上設(shè)置有丙烯酸酯膠層；通過該保護(hù)膜及其制備方法，提高晶圓表面的整潔度，使晶圓的使用性能得到保證，使得PVC薄膜厚度更加均勻，平整，粘性穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及保護(hù)膜技術(shù)領(lǐng)域，特指一種PVC保護(hù)膜及其制備方法。

背景技術(shù)

隨著LED行業(yè)快速發(fā)展，LED晶圓半導(dǎo)體技術(shù)亦是日新月異。按照現(xiàn)有LED晶圓半導(dǎo)體開發(fā)制程，在切割材料過程需要應(yīng)用到激光技術(shù)，而在激光加工過程中，首先必須保證LED晶圓半導(dǎo)體不受激光影響，避免造成晶圓破壞。

在上述切割技術(shù)的背景下，LED晶圓襯底用切割保護(hù)膜由此誕生。因國外技術(shù)保密和材料禁運(yùn)，國內(nèi)LED晶圓襯底用切割保護(hù)膜的技術(shù)仍處于前期開發(fā)探索階段，基本上沿用的是PET保護(hù)膜加工路線，即都是先在PVC保護(hù)膜光面加工有機(jī)硅離型層，再到啞面加工丙烯酸酯涂層。但若使用該路線，由于有機(jī)硅固化條件對溫度要求較高，在加工過程，會造成PVC保護(hù)膜嚴(yán)重收縮，導(dǎo)致薄膜厚度不均勻，進(jìn)而對后續(xù)的涂膠厚度造成影響，無法做到厚度和粘性穩(wěn)定。而且PVC保護(hù)膜原材料當(dāng)中含有增塑劑，例如DOP（鄰苯二甲酸二辛酯）、DOTP（對苯二甲酸二辛酯）等，增塑劑的存在會使丙烯酸酯膠層的粘性出現(xiàn)一定程度的下降。再加上PVC保護(hù)膜背面涂布的是有機(jī)硅離型劑，當(dāng)PVC藍(lán)膜復(fù)卷后，丙烯酸酯膠層會與有機(jī)硅離型層接觸，硅油轉(zhuǎn)移過高也會使丙烯酸酯膠層表面含硅，可能導(dǎo)致硅油轉(zhuǎn)移到客戶的晶圓表面，進(jìn)而導(dǎo)致晶圓存在質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)。綜合以上，現(xiàn)有PVC藍(lán)色保護(hù)膜加工存在很大改善空間，非常容易出現(xiàn)熱固過程收縮過大，硅油轉(zhuǎn)移過高，丙烯酸酯粘性下降過大的問題。因此，如何改善此類問題，提高產(chǎn)品性能，盡快為國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)提供可靠的PVC藍(lán)色保護(hù)膜具有非常重要的意義。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足，提供一種PVC保護(hù)膜及其制備方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

本發(fā)明所述的一種PVC保護(hù)膜，所述PVC保護(hù)膜其中一表面為光面，PVC保護(hù)膜另一表面為啞面；所述PVC保護(hù)膜的光面設(shè)置有非硅離型層；PVC保護(hù)膜的啞面涂隔離涂層；所述隔離涂層上遠(yuǎn)離PVC保護(hù)膜的表面上設(shè)置有丙烯酸酯膠層。

進(jìn)一步地，所述PVC保護(hù)膜光面粗糙度Ra值為0.01～0.2μm，PVC保護(hù)膜的啞面粗糙度Ra值為0.4～0.6μm，PVC保護(hù)膜的抗拉強(qiáng)度為40～60MPa，PVC保護(hù)膜的伸長率為150～250%。

進(jìn)一步地，所述非硅離型層的厚度為0.3～1μm；所述PVC保護(hù)膜層的厚度為50～120μm；所述隔離涂層的厚度為0.5～4μm；所述丙烯酸酯膠層的厚度為6～30μm。

進(jìn)一步地，所述非硅離型層由非硅離型劑和異丙醇溶液混合形成離型配液后，在PVC保護(hù)膜光面上涂布上所述的離型配液烘干固化成型。

進(jìn)一步地，所述隔離涂層先由隔離劑和純凈水混合為隔離配液后涂布在PVC保護(hù)膜啞面上，通過烘烤固化而成。

進(jìn)一步地，通過丙烯酸酯膠和稀釋溶劑配制成丙烯酸酯配液，再將丙烯酸酯配液與固化試劑充分混合得到丙烯酸酯配液，把丙烯酸酯配液通過烘烤固化形成丙烯酸酯層。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：包括如下步驟：

a、非硅離型層通過將90～110重量份的非硅離型劑和20～50重量份的異丙醇溶液充分混合分散為離型配液；把制得的離型配液涂布在PVC保護(hù)膜光面上，在溫度60～80℃烘烤30～120秒固化成非硅離型層；

b、通過90～110重量份的隔離劑和20～50重量份的純凈水充分混合直到完全分散為隔離配液后，將隔離配液涂布在步驟a中所述PVC保護(hù)膜啞面上，在溫度為60～80℃烘烤30～60秒固化而成隔離涂層；