[發明專利]一種多層結構的模斑轉換器及其實現方法有效
| 申請號： | 202011514218.0 | 申請日： | 2020-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN112596161B | 公開（公告）日： | 2023-03-24 |
| 發明（設計）人： | 王丹 | 申請（專利權）人： | 成都市加朗星科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/14 | 分類號： | G02B6/14;G02B6/13;G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 成都虹盛匯泉專利代理有限公司 51268 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 610000 四川省成都市武侯*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多層 結構 轉換器 及其 實現 方法 | ||
1.一種多層結構的模斑轉換器，其特征在于，包括：基底、位于基底上的緩沖層、位于緩沖層上的復合波導、以及覆蓋復合波導的包層；所述復合波導從下到上依次為：具有垂直方向的多層階梯結構的第一折射率層、與該多層階梯結構匹配的第二折射率層，所述匹配具體為在多層階梯結構部分的第一折射率層與第二折射率層厚度互補；
所述第一折射率層的多層階梯結構部分從該模斑轉換器的輸入端到輸出端的厚度依次增加，第二折射率層從該模斑轉換器的輸入端到輸出端的厚度依次減小。
2.根據權利要求1所述的一種多層結構的模斑轉換器，其特征在于，所述階梯結構的階梯層數大于或等于3。
3.根據權利要求2所述的一種多層結構的模斑轉換器，其特征在于，還包括覆蓋于復合波導上方或周圍的一種或兩種低折射率差材料。
4.根據權利要求3所述的一種多層結構的模斑轉換器，其特征在于，所述第一折射率層采用高折射率差材料。
5.根據權利要求4所述的一種多層結構的模斑轉換器，其特征在于，所述高折射率差材料為硅、氮化硅、鈮酸鋰薄膜中的一種。
6.根據權利要求5所述的一種多層結構的模斑轉換器，其特征在于，第一折射率層為脊型波導，所述多層階梯結構制作于脊型部分；所述第二折射率層完全覆蓋第一折射率層。
7.根據權利要求5所述的一種多層結構的模斑轉換器，其特征在于，第一折射率層為脊型波導，所述多層階梯結構制作于脊型部分；所述第二折射率層覆蓋第一折射率層脊型部分。
8.根據權利要求6或7所述的一種多層結構的模斑轉換器，還包括直波導，所述直波導兩端各連接一個模斑轉換器，這兩個模斑轉換器相對于直波導對稱。
9.一種權利要求8所述模斑轉換器的實現方法，其特征在于，包括：
S1、制備具有緩沖層n2層和高折射率n1層的起始材料；
S2、在起始材料的n1層兩端制作對稱的兩個多層臺階結構；
S3、在經步驟S2處理后的n1層上制作與其結構匹配的n3層；
S4、同時制作得到模斑轉換器與直波導。
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