[發明專利]一種集成的偏振旋轉調制器件及其制備方法

在審

• 申請號: 202011509314.6
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN112612079A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 王丹丹;劉宇;祝寧華;王旭陽;李明
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G02B6/126
• 分類號: G02B6/126;G02F1/035
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王江選

1.一種集成的偏振旋轉調制器件，其特征在于，包括：

偏振旋轉部分與調制部分；

其中，所述偏振旋轉部分用于將入射光分解在兩個相互垂直的方向，所述兩個相互垂直的方向的折射率不同，以使所述入射光的偏振方向產生旋轉，所述偏振旋轉部分與所述調制部分的晶向不同，所述偏振旋轉部分與所述調制部分均具有波導結構，在所述偏振旋轉部分與所述調制部分相結合的端面，所述偏振旋轉部分與所述調制部分的波導結構實現端面耦合。

2.根據權利要求1所述的偏振旋轉調制器件，其特征在于，所述偏振旋轉部分的晶向與長度根據入射光經過所述偏振旋轉部分后所需要旋轉的角度進行確定。

3.根據權利要求1所述的偏振旋轉調制器件，其特征在于，所述偏振旋轉部分與所述調制部分的波導結構為脊波導或體波導。

4.根據權利要求1所述的偏振旋轉調制器件，其特征在于，所述偏振旋轉部分與所述調制部分的晶向夾角為0度至90度。

5.根據權利要求1所述的偏振旋轉調制器件，其特征在于，所述調制部分為鈮酸鋰體材料電光調制器或鈮酸鋰薄膜電光調制器。

6.根據權利要求1所述的偏振旋轉調制器件，其特征在于，所述調制部分的波導為x切且使得光沿著y方向傳輸，或者為y切且使得光沿著x方向傳輸，所述偏振旋轉部分的波導的端面通過以所述調制部分的波導的光傳輸方向為軸，順時針或者逆時針旋轉預定角度后，形成與所述偏振旋轉部分的晶向差異。

7.根據權利要求6所述的偏振旋轉調制器件，其特征在于，所述調制部分的波導與所述偏振旋轉部分的波導其中一個為x切且光沿y方向傳輸，另一個為y切且光沿x方向傳輸。

8.一種用于制備權利要求1至7中任一項所述的偏振旋轉調制器件的方法，其特征在于，包括：

制備調制部分以及指定長度的偏振旋轉部分，所述指定長度根據入射光經過所述偏振旋轉部分后所需要旋轉的角度進行確定；

在所述調制部分以及所述偏振旋轉部分制備波導結構；

將所述偏振旋轉部分與所述調制部分進行集成。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，通過外延將所述偏振旋轉部分與所述調制部分進行集成，或者通過鍵合將所述偏振旋轉部分與所述調制部分進行集成，或者在預先選擇的襯底上混合集成所述偏振旋轉部分與所述調制部分。

10.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，通過預先制備多個不同長度的偏振旋轉部分，并將入射光所需要旋轉的角度與入射光經過各個不同長度的偏振旋轉部分后旋轉的角度進行比較，以確定所述指定長度的取值。