[發明專利]一種具有多軸旋轉式承載結構的沉積爐

在審

• 申請號: 202011508123.8
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN112593211A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 申富強;王景珍
• 申請（專利權）人: 上海騏杰碳素材料有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/455;C23C16/26;C04B35/83
• 代理公司: 上海創開專利代理事務所(普通合伙) 31374
• 代理人: 汪發成

1.一種具有多軸旋轉式承載結構的沉積爐，其特征在于，爐內包括至少兩個加熱器(2)以及與加熱器(2)相對應的安裝于承載臺(4)上的至少兩個旋轉承載板(303)。

2.根據權利要求1所述的一種具有多軸旋轉式承載結構的沉積爐，其特征在于，所述加熱器(2)采用圓形整體加熱器、圓形拼接加熱器、方形整體加熱器或方形拼接加熱器中任意一種。

3.根據權利要求2所述的一種具有多軸旋轉式承載結構的沉積爐，其特征在于，所述加熱器(2)材質采用石墨、碳碳或鎢鉬等其它耐高溫材料。

4.根據權利要求1所述的一種具有多軸旋轉式承載結構的沉積爐，其特征在于，所述承載臺(4)采用軸流式或非軸流式。

5.根據權利要求1所述的一種具有多軸旋轉式承載結構的沉積爐，其特征在于，所述沉積爐還包括爐體(1)以及對承載臺(4)進行升降動作的升降機構(5)；所述承載臺(4)的周側壁上安裝有與爐體(1)內側壁擠壓密封的密封圈(402)。