[發明專利]一種浸液供給系統及其浸沒流場撤除方法

有效

• 申請號: 202011507502.5
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN112558432B
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發明（設計）人: 付新;趙藝文;吳敏;徐寧;陳文昱
• 申請（專利權）人: 浙江啟爾機電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 林君勇

1.一種浸液供給系統，包括浸液供給源和供液閥，其特征在于：還包括浸沒液體吸引組件，供液閥通過末端供液流路連接至浸液供給裝置的主注液口，浸沒液體吸引組件與末端供液流路形成流體連接；所述的浸沒液體吸引組件包括排液旁路，排液旁路連通接入末端供液流路；關閉供液閥后，利用排液旁路從末端供液流路中抽排浸沒液體；

所述的排液旁路包括排液開口，所述的浸沒液體吸引組件還包括密封抽排系統和浸液供給回收裝置內部的密封抽排流路，密封抽排口經浸液供給回收裝置內部的密封抽排流路連接至密封抽排系統，末端供液流路與密封抽排流路之間通過浸液供給回收裝置內部的排液開口貫通連接。

2.按照權利要求1所述的浸液供給系統，其特征在于：所述的排液開口的橫截面積是浸液供給系統中主注液口橫截面積的十分之一至二分之一。

3.按照權利要求1所述的浸液供給系統，其特征在于：所述的浸沒液體吸引組件還包括密封抽排腔，多個密封抽排口連接至浸液供給回收裝置內部的密封抽排腔，密封抽排腔經密封抽排流路連接至密封抽排系統，在浸液供給回收裝置內部設置阻液槽位于末端供液流路上，在垂直于浸沒液體流向的平面上阻液槽的投影完全覆蓋末端供液流路的投影；設置排液開口作為排液旁路，排液開口設置于阻液槽的下表面，排液開口貫通連接阻液槽和密封抽排腔。

4.一種浸液供給系統，包括浸液供給源和供液閥，其特征在于：還包括浸沒液體吸引組件，供液閥通過末端供液流路連接至浸液供給裝置的主注液口，浸沒液體吸引組件與末端供液流路形成流體連接；所述的浸沒液體吸引組件包括排液旁路，排液旁路連通接入末端供液流路；關閉供液閥后，利用排液旁路從末端供液流路中抽排浸沒液體；

所述供液閥具有至少兩個工作位和至少三個流口，其中一個流口與氣體源連接，排液旁路連通接入末端供液流路；浸液供給系統停止供給浸沒液體后，供液閥內部流路位于第二工作位上，連通氣源和末端供液流路，阻塞浸液供給源。

5.按照權利要求4所述的浸液供給系統，其特征在于：所述的排液旁路與末端供液流路的連接點位于末端供液流路的最低位置處。

6.按照權利要求4所述的浸液供給系統，其特征在于：所述的氣體源的壓力大于或等于浸液供給系統所在環境的氣壓。

7.一種浸沒流場撤除方法，其特征在于：包括如下撤除步驟

A1.保持主抽排系統和密封抽排系統開啟，操作供液閥，切斷浸液供給源與主注液口之間的流路；

A2.操作權利要求1～6之一所述的浸液供給系統的浸沒液體吸引組件，抽排末端供液流路中的浸沒液體，使殘留液體從末端供液流路中排出；對浸沒液體吸引組件的操作是開啟排液閥并利用排液旁路從末端供液流路中抽排浸沒液體；

A3.關閉主抽排系統和密封抽排系統。