[發(fā)明專利]一種惰性氣體純化的撬塊裝置及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011506776.2 | 申請日: | 2020-12-18 |
| 公開(公告)號: | CN112642258A | 公開(公告)日: | 2021-04-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 郗春滿;李輝;陸璐;郭正軍;王歡 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州蘇凈保護氣氛有限公司 |
| 主分類號: | B01D53/04 | 分類號: | B01D53/04 |
| 代理公司: | 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司 32103 | 代理人: | 周敏 |
| 地址: | 215002 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 惰性氣體 純化 裝置 方法 | ||
1.一種惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:包括底座(7),安裝在所述底座(7)上的換熱器(1)、冷卻器(3)、吸附單元(2)以及收集單元;所述換熱器(1)具有至少兩組進氣口和出氣口,其中一個所述進氣口與惰性氣體進氣端連通,其中一個出氣口和另一個進氣口分別與所述吸附單元(2)的進口和出口相連通,另一個出氣口與所述冷卻器(3)相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:所述吸附單元(2)包括內(nèi)部加熱組件(8)、套設(shè)在所述內(nèi)部加熱組件(8)外的外部加熱組件(10)、套設(shè)在所述外部加熱組件(10)外的保溫組件(11)、裝填在所述內(nèi)部加熱組件(8)和所述外部加熱組件(10)形成的容納空間內(nèi)的吸氣劑(9)、插入所述容納空間底部的進氣管、與所述容納空間頂部相連通的出氣管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,所述換熱器(1)包含兩組進氣口和出氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:所述吸氣劑(9)為ZrAl吸氣劑、ZrVFe吸氣劑、BaTi吸氣劑、BaAl吸氣劑中的一種或多種。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:所述內(nèi)部加熱組件(8)包括一個或多個加熱器,所述外部加熱組件(10)包括一個或多個加熱器,和/或,所述外部加熱器的數(shù)量大于所述內(nèi)部加熱器的數(shù)量。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:所述內(nèi)部加熱組件(8)的外側(cè)與所述外部加熱組件(10)的內(nèi)側(cè)分別設(shè)有隔離所述內(nèi)部加熱組件(8)、所述吸氣劑(9)及隔離所述吸氣劑(9)、所述外部加熱組件(10)的隔離板;所述吸附單元(2)內(nèi)還設(shè)有底板、頂板,所述底板、所述頂板與所述隔離板共同圍設(shè)成所述容納空間。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:所述吸附單元(2)還包括套設(shè)在所述保溫組件(11)外的外殼(12),所述外殼(12)設(shè)有能夠打開和閉合的頂殼、能夠打開和閉合的底殼;所述保溫組件(11)包括能夠打開和閉合的頂保溫層、能夠打開和閉合的底保溫層和側(cè)保溫層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:所述收集單元包括分別與所述冷卻器(3)連接的緩沖罐(4)和真空泵(5),所述緩沖罐(4)和所述真空泵(5)上設(shè)有出氣口。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:所述撬塊裝置還包括安裝在所述底板上的電控箱(6),所述電控箱(6)分別與所述換熱器(1)、所述吸附單元(2)、所述冷卻器(3)連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的惰性氣體純化的撬塊裝置,其特征在于:所述冷卻器(3)的出口端還設(shè)有取樣單元,所述取樣單元包括球閥(18)、減壓閥(19)、純度測量儀(20),所述球閥(18)、所述減壓閥(19)、所述純度測量儀(20)分別與所述電控箱(6)連接。
11.一種惰性氣體純化的方法,其特征在于:將未純化的惰性氣體通入如權(quán)利要求1至10任一項所述的撬塊裝置進行純化。
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