[發(fā)明專利]干燥空氣供給裝置及方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011506171.3
• 申請(qǐng)日: 2020-12-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112999830A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 嚴(yán)敏雨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美康有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/26
• 分類號(hào): B01D53/26;B01D53/28;B01D46/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 呂琳;田英愛(ài)

1.一種干燥空氣供給裝置，用于向與半導(dǎo)體制造裝置相連接且收容基板的緩沖空間供給干燥空氣，其特征在于，包括：

冷卻除濕單元，用于對(duì)流入的空氣進(jìn)行冷卻并除濕；

干燥劑除濕單元，具有用于收容干燥劑的轉(zhuǎn)子，通過(guò)使從所述冷卻除濕單元供給的空氣經(jīng)過(guò)所述轉(zhuǎn)子來(lái)進(jìn)行除濕；

溫度調(diào)節(jié)單元，用于對(duì)經(jīng)過(guò)所述干燥劑除濕單元的空氣進(jìn)行冷卻或加熱；以及

供給流路，其為了向所述緩沖空間供給經(jīng)過(guò)所述溫度調(diào)節(jié)單元的空氣而延伸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的干燥空氣供給裝置，其特征在于，經(jīng)過(guò)所述溫度調(diào)節(jié)單元來(lái)供給到所述緩沖空間的干燥空氣的相對(duì)濕度為20％以下，溫度為25℃以下。

3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的干燥空氣供給裝置，其特征在于，還包括：

回收流路，其為了使從所述緩沖空間回收的空氣流入所述冷卻除濕單元而延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求3中所述的干燥空氣供給裝置，其特征在于，在所述回收流路設(shè)置有包括超低滲透空氣過(guò)濾器及空氣化學(xué)過(guò)濾器中的至少一種的回收過(guò)濾器部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的干燥空氣供給裝置，其特征在于，所述干燥劑除濕單元包括：

驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，通過(guò)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力來(lái)將所述旋轉(zhuǎn)力傳遞到所述轉(zhuǎn)子；以及

框架，所述轉(zhuǎn)子以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與所述框架相結(jié)合，所述框架具有再生部及除濕部，用于再生的空氣經(jīng)過(guò)所述再生部，從所述冷卻除濕單元供給的空氣經(jīng)過(guò)所述除濕部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5中所述的干燥空氣供給裝置，其特征在于，所述干燥劑除濕單元還包括用于對(duì)供給到所述再生部的空氣進(jìn)行加熱的再生加熱部。

7.根據(jù)權(quán)利要求5中所述的干燥空氣供給裝置，其特征在于，

所述框架還具有用于使從所述冷卻除濕單元供給的一部分空氣經(jīng)過(guò)的吹掃部，

所述干燥劑除濕單元還包括用于對(duì)經(jīng)過(guò)所述吹掃部來(lái)供給到所述再生部的空氣進(jìn)行加熱的再生加熱部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的干燥空氣供給裝置，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)單元包括：

冷卻盤管，用于使冷卻流體流動(dòng)；以及

電加熱器，利用電能加熱。

9.一種干燥空氣供給方法，用于向與半導(dǎo)體制造裝置相連接且收容基板的緩沖空間供給干燥空氣，其特征在于，包括：

冷卻除濕步驟，對(duì)空氣進(jìn)行冷卻并除濕；

干燥劑除濕步驟，通過(guò)使收容干燥劑的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，并使在所述冷卻除濕步驟中處理的空氣經(jīng)過(guò)所述轉(zhuǎn)子來(lái)進(jìn)行除濕；

溫度調(diào)節(jié)步驟，對(duì)在所述干燥劑除濕步驟中處理的空氣進(jìn)行冷卻或加熱；以及

供給步驟，將在所述溫度調(diào)節(jié)步驟中處理的空氣供給到所述緩沖空間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9中所述的干燥空氣供給方法，其特征在于，還包括回收步驟，在所述回收步驟中，從所述緩沖空間回收在所述冷卻除濕步驟中待處理的空氣。