[發明專利]一種混合氣體探測裝置及系統在審
| 申請號: | 202011504881.2 | 申請日: | 2020-12-18 |
| 公開(公告)號: | CN112683835A | 公開(公告)日: | 2021-04-20 |
| 發明(設計)人: | 康曉旭 | 申請(專利權)人: | 上海集成電路研發中心有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/3504 | 分類號: | G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司: | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吳世華;尹一凡 |
| 地址: | 201210 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 混合氣體 探測 裝置 系統 | ||
1.一種混合氣體探測裝置,其特征在于,包括:光源、分析腔、微通道以及光學傳感芯片,
光源用于產生投射光,并向分析腔進行照射;
所述分析腔用于盛放待檢測的混合氣體;
所述光學傳感芯片用于接收穿過所述分析腔的投射光,檢測所述投射光的光譜信息;
所述微通道與所述分析腔連接,用于向所述分析腔中通入所述待檢測的混合氣體,在所述微通道上設置有針對指定氣體的吸附材料,用于在所述混合氣體通入過程中,對混合氣體中的指定氣體進行吸附,減緩該指定氣體通入所述分析腔中的速度。
2.根據權利要求1所述的混合氣體探測裝置,其特征在于,還包括濾光部件,設置在所述光源與所述分析腔之間,用于對所述光源發出的連續光譜的投射光進行濾波,生成窄波段的投射光向所述分析腔照射。
3.根據權利要求2所述的混合氣體探測裝置,其特征在于,所述濾光部件包括多個對應不同波段的單波段濾光鏡頭,所述多個單波段濾光鏡頭設置在可轉動的載物臺上,通過所述載物臺的轉動,依次生成多個窄波段的投射光向所述分析腔照射。
4.根據權利要求1至3任一所述的混合氣體探測裝置,其特征在于,在所述分析腔和所述光學傳感芯片之間還設置有透鏡組件,用于將穿過所述分析腔的投射光聚焦到所述光學傳感芯片上。
5.根據權利要求1至3任一所述的混合氣體探測裝置,其特征在于,所述光源為紅外光源,所述檢測所述投射光的光譜信息包括:檢測所述投射光的紅外吸收光譜。
6.根據權利要求1至3任一所述的混合氣體探測裝置,其特征在于,在所述分析腔還設置有抽氣泵,用于將所述分析腔中的混合氣體向外排出。
7.根據權利要求1至3任一所述的混合氣體探測裝置,其特征在于,所述微通道為多個,各個微通道上設置有針對不同指定氣體的吸附材料,通過對多個微通道進行切換,實現對所述混合氣體中的不同氣體成分進行分離。
8.一種混合氣體探測系統,其特征在于,包括:
權利要求1至5任一所述的混合氣體探測裝置,其中,各個混合氣體探測裝置的分析腔以串聯的方式連接在一起,各個混合氣體探測裝置的微通道上設置有針對不同指定氣體的吸附材料。
9.根據權利要求8所述的混合氣體探測系統,其特征在于,在最后一個分析腔上設置有抽氣泵,用于將各分析腔中的混合氣體向外排出。
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