[發明專利]設備應用監控方法、半導體工藝設備

在審

• 申請號: 202011503927.9
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN112559292A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 楊園
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06F11/30
• 分類號: G06F11/30;G06F11/32;G06F11/34
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

本申請實施例提供了設備應用監控方法、半導體工藝設備，該方法包括：獲取設備應用的監控數據，監控數據包括：監控時間段內的每一個子時間段的輸入輸出量和硬件資源消耗量；對于每一個子時間段，在子時間段滿足預警條件的情況下，生成子時間段對應的預警信息和子時間段對應的第一接口調用概率分布信息；顯示子時間段對應的預警信息和第一接口調用概率分布信息。本申請實施例提供的技術方案可以自動對設備應用進行監控，降低確定設備應用在代碼設計上的問題的成本，以及提升確定設備應用在代碼設計上的問題的準確性。

技術領域

本申請涉及半導體制造領域，具體涉及一種設備應用監控方法、半導體工藝設備。

背景技術

在半導體工藝設備進行作業的過程中，需要通過設備應用控制半導體工藝設備進行工藝的過程。目前，通常是在設備應用的代碼設計存在問題時，由開發人員人工根據設備應用的運行日志中記錄的相關信息，確定設備應用在代碼設計上的問題。一方面，設備應用的代碼量大，以人工方式確定設備應用在代碼設計上的問題的成本高。另一方面，由于沒有任何與設備應用的代碼設計可能存在的問題相關的信息可以提供給用戶幫助用戶發現設備應用在代碼設計上的問題，用戶只能依靠經驗確定設備應用在代碼設計上的問題，導致確定設備應用在代碼設計上的問題的準確性較低。

發明內容

本申請提供一種設備應用監控方法、半導體工藝設備。

根據本申請實施例的第一方面，提供一種設備應用監控方法，應用于半導體工藝設備，包括：

獲取設備應用的監控數據，監控數據包括：監控時間段內的每一個子時間段的輸入輸出量和硬件資源消耗量；

對于每一個子時間段，在子時間段滿足預警條件的情況下，生成子時間段對應的預警信息和子時間段對應的第一接口調用概率分布信息，其中，預警條件包括以下至少之一：子時間段的輸入輸出量大于或等于第一閾值、子時間段的硬件資源消耗量大于或等于第二閾值，第一接口調用概率分布信息指示每一個在子時間段內被調用的接口在子時間段內的調用次數占據子時間段對應的接口調用總次數的比例；

顯示子時間段對應的預警信息和第一接口調用概率分布信息。

根據本申請實施例的第二方面，提供一種半導體工藝設備，包括：

獲取單元，被配置為獲取設備應用的監控數據，監控數據包括：監控時間段內的每一個子時間段的輸入輸出量和硬件資源消耗量；

資源消耗預警單元，被配置為對于每一個子時間段，在子時間段滿足預警條件的情況下，生成子時間段對應的預警信息和子時間段對應的第一接口調用概率分布信息，其中，預警條件包括以下至少之一：子時間段的輸入輸出量大于或等于第一閾值、子時間段的硬件資源消耗量大于或等于第二閾值，第一接口調用概率分布信息指示每一個在子時間段內被調用的接口在子時間段內的調用次數占據子時間段對應的接口調用總次數的比例；

顯示單元，被配置為顯示子時間段對應的預警信息和第一接口調用概率分布信息。

本申請實施例提供的設備應用監控方法、半導體工藝設備，通過子時間段對應的預警信息可以提示用戶在設備應用的運行過程中，子時間段的輸入輸出量異常和/或硬件資源消耗量異常，以提醒用戶確定設備應用在代碼設計上的問題。子時間段對應的第一接口調用概率分布信息使得用戶可以了解在輸入輸出量異常和/或硬件資源消耗量異常的子時間段內每一個被調用的接口的調用情況，以便用戶發現設備應用在代碼設計上的問題，對設備應用的代碼進行改進。上述技術方案可以自動對設備應用進行監控，相比于以人工方式根據經驗確定設備應用在代碼設計上的問題，降了低確定設備應用在代碼設計上的問題的成本，提升了確定設備應用在代碼設計上的問題的準確性。

附圖說明

此處的附圖被并入說明書中并構成本說明書的一部分，示出了符合本申請的實施例，并與說明書一起用于解釋本申請的原理。

圖1示出了本申請實施例提供的設備應用監控方法的流程圖；