[發(fā)明專利]一種透射型硅基電可調(diào)太赫茲動(dòng)態(tài)器件及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011498907.7 | 申請(qǐng)日： | 2020-12-17 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112787203A | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 婁菁;蔡通;梁建剛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國人民解放軍空軍工程大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01S1/00 | 分類號(hào)： | H01S1/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710051 陜西省*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 透射 型硅基電 可調(diào) 赫茲 動(dòng)態(tài) 器件 及其 制備 方法 | ||
1.一種透射型硅基電可調(diào)太赫茲動(dòng)態(tài)器件，其特征在于，其由下向上依次為硅襯底(1)，金屬粘附層(2)、金屬層(3)，其中金屬層(3)包括正電極(4)和負(fù)電極(5)形成插指電極；電源(6)的位置根據(jù)需要確定；其中
硅襯底(1)為N型高阻硅片；
金屬層(3)所包含的正電極(4)、負(fù)電極(5)均為處于相同金屬層的插指電極；正電極(4)包含一根橫向主電極和與主電極相垂直布置的多根插指電極，多根插指電極通常橫向間隔相同，其一端與主電極相連，另一端齊平；負(fù)電極(5)包含一根橫向主電極和與主電極相垂直布置的多根插指電極，多根插指電極通常橫向間隔相同，其一端與主電極相連，另一端齊平；正電極(4)的主電極和負(fù)電極(5)的主電極彼此相對(duì)且相互平行，正電極(4)的多根插指電極和負(fù)電極(5)的多根插指電極相互插入且全部相互平行，最終形成從左至右依次為：正電極(4)的第一根插指電極、負(fù)電極(5)的第一根插指電極、正電極(4)的第二根插指電極、負(fù)電極(5)的第二根插指電極...交錯(cuò)布置的順序，最后一根插指電極為正電極(4)的第N根插指電極或負(fù)電極(5)的第N根插指電極；
金屬粘附層(2)的形狀和金屬層(3)在水平面上投影的形狀完全相同，金屬粘附層(2)和金屬層(3)在水平面上的投影完全重疊；金屬粘附層(2)用于粘合硅襯底(1)和金屬層(3)；
電源(6)的正、負(fù)輸出端分別連接正電極(4)、負(fù)電極(5)。
2.如權(quán)利要求1所述的透射型硅基電可調(diào)太赫茲動(dòng)態(tài)器件，其特征在于，硅襯底(1)厚度為1-2mm，阻值大于1000Ω/cm。
3.如權(quán)利要求1所述的透射型硅基電可調(diào)太赫茲動(dòng)態(tài)器件，其特征在于，金屬粘附層(2)厚度為5-20nm。
4.如權(quán)利要求3所述的透射型硅基電可調(diào)太赫茲動(dòng)態(tài)器件，其特征在于，金屬粘附層(2)厚度為10nm，材料為金屬鈦或鉻。
5.如權(quán)利要求1所述的透射型硅基電可調(diào)太赫茲動(dòng)態(tài)器件，其特征在于，金屬層(3)厚度為150-300nm；金屬層(3)線寬a為5-20μm，線間距b為30-100μm。
6.如權(quán)利要求5所述的透射型硅基電可調(diào)太赫茲動(dòng)態(tài)器件，其特征在于，金屬層(3)的材料為高電導(dǎo)率材料，厚度為200nm；金屬層(3)線寬a為15μm，線間距b為50μm。
7.一種包含插指電極與非對(duì)稱開口諧振環(huán)的透射型硅基電可調(diào)太赫茲動(dòng)態(tài)器件器件，其特征在于，其由下向上依次為硅襯底(1)，金屬粘附層(2)、金屬層(3)；其中金屬層(3)包括正電極(4)和負(fù)電極(5)形成插指電極，還包括在相鄰插指電極之間的非對(duì)稱開口諧振環(huán)，全部諧振環(huán)形成諧振環(huán)陣列(7)；電源(6)的位置根據(jù)需要確定；其中
硅襯底(1)為N型高阻硅片；
金屬層(3)所包含的正電極(4)、負(fù)電極(5)均為處于相同金屬層的插指電極；正電極(4)包含一根橫向主電極和與主電極相垂直布置的多根插指電極，多根插指電極通常橫向間隔相同，其一端與主電極相連，另一端齊平；負(fù)電極(5)包含一根橫向主電極和與主電極相垂直布置的多根插指電極，多根插指電極通常橫向間隔相同，其一端與主電極相連，另一端齊平；正電極(4)的主電極和負(fù)電極(5)的主電極彼此相對(duì)且相互平行，正電極(4)的多根插指電極和負(fù)電極(5)的多根插指電極相互插入且全部相互平行，最終形成從左至右依次為：正電極(4)的第一根插指電極、負(fù)電極(5)的第一根插指電極、正電極(4)的第二根插指電極、負(fù)電極(5)的第二根插指電極...交錯(cuò)布置的順序，最后一根插指電極為正電極(4)的第N根插指電極或負(fù)電極(5)的第N根插指電極；
金屬粘附層(2)的形狀和金屬層(3)在水平面上投影的形狀完全相同，金屬粘附層(2)和金屬層(3)在水平面上的投影完全重疊；金屬粘附層(2)用于粘合硅襯底(1)和金屬層(3)；
電源(6)的正、負(fù)輸出端分別連接正電極(4)、負(fù)電極(5)；其中
就單個(gè)諧振環(huán)而言，其形狀為超構(gòu)材料形狀。
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