[發明專利]一種顯示面板及其制作方法、以及顯示裝置

有效

• 申請號: 201711058392.7
• 申請日: 2017-11-01
• 公開（公告）號: CN107845737B
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 冷傳利;李針英
• 申請（專利權）人: 上海天馬微電子有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明實施例公開了一種顯示面板及其制作方法、以及顯示裝置，該顯示面板包括：顯示基板，顯示基板包括至少一個顯示區域；封裝顯示區域的封裝結構，封裝結構包括至少一層無機層和至少一層有機層，封裝結構采用先沉積各膜層再進行刻蝕的方法形成。本發明實施例中，封裝結構采用先沉積各膜層再進行光刻刻蝕的方法形成，則無需使用掩膜進行封裝結構無機層的沉積，也無需采用掩膜對位系統對掩膜進行對位，降低了封裝工序復雜度和制作成本；封裝結構的膜層厚度均勻且表面平整，不會出現掩膜沉積造成的不同區域厚度不均的問題，避免了掩膜沉積的窗口效應。

技術領域

本發明實施例涉及顯示技術，尤其涉及一種顯示面板及其制作方法、以及顯示裝置。

背景技術

隨著顯示技術的發展，柔性顯示技術的應用越來越廣泛。現有的柔性有機發光顯示面板結構中，通常包括柔性基板、顯示器件層、以及薄膜封裝層。薄膜封裝層通常包括無機層和有機層，無機層用于阻隔水氧，有機層用于提高薄膜封裝層的柔韌性。

在柔性有機發光顯示面板中，薄膜封裝層的無機層一般要采用掩膜mask對位后再進行沉積。具體的，形成薄膜封裝層之前，對位沉積薄膜封裝層中無機層的掩膜，掩膜具有開口區域和非開口區域，掩膜的開口區域與顯示區域對應設置；其次，采用化學氣相沉積CVD工藝沉積無機材料，則無機材料在柔性有機發光顯示面板的顯示區域形成薄膜封裝層中的無機層。

然而，掩膜對位顯示區域并進行無機材料沉積時，沉積的無機層在不同區域的厚度不均勻，導致薄膜封裝層的膜層厚度不均勻，影響封裝效果，并且制作工序復雜。

發明內容

本發明實施例提供一種顯示面板及其制作方法、以及顯示裝置，以解決現有的薄膜封裝工序復雜且成膜不均勻的問題。

第一方面，本發明實施例提供了一種顯示面板，該顯示面板包括：

顯示基板，所述顯示基板包括至少一個顯示區域；

封裝所述顯示區域的封裝結構，所述封裝結構包括至少一層無機層和至少一層有機層，所述封裝結構采用先沉積各膜層再進行刻蝕的方法形成。

第二方面，本發明實施例還提供了一種顯示面板的制作方法，該制作方法包括：

提供一顯示基板，所述顯示基板包括多個顯示區域；

在所述顯示基板上沉積多個膜層以形成封裝功能層，所述多個膜層包括至少一層無機層和至少一層有機層；

刻蝕所述封裝功能層以形成相互分離的多個封裝結構，所述封裝結構封裝所述顯示區域；

對刻蝕后的顯示基板進行切割以形成顯示面板。

第三方面，本發明實施例還提供了一種顯示裝置，該顯示裝置包括：如上所述的顯示面板。

本發明實施例中，封裝結構采用先沉積各膜層再進行刻蝕的方法形成，則無需使用掩膜進行封裝結構無機層的沉積，也無需采用掩膜對位系統對掩膜進行對位，降低了封裝工序復雜度和制作成本。其次，封裝結構采用先沉積各膜層再進行刻蝕的方法形成，封裝結構的膜層厚度均勻且表面平整，不會出現掩膜沉積造成的不同區域厚度不均的問題，避免了掩膜沉積的窗口效應。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例術描述中所需要使用的附圖做一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明實施例提供的一種顯示面板的示意圖；

圖2是圖1沿A-A'的剖視圖；

圖3是本發明實施例提供的一種顯示面板的示意圖；

圖4是圖3所示顯示面板的制作流程圖；