[發明專利]一種石英承載裝置

有效

• 申請號: 202011496428.1
• 申請日: 2020-12-17
• 公開（公告）號: CN112497114B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 沈建良;董夢姣;金蕓
• 申請（專利權）人: 蘇州博萊特石英有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 蘇州曼博專利代理事務所(普通合伙) 32436
• 代理人: 孫霞

本發明公開了一種石英承載裝置，包括兩個支撐板和若干石英棒，支撐板上設有橫向通槽，橫向通槽包括頂壁和底壁，底壁上設有若干下夾槽，下夾槽中設有下橡膠阻尼片，橫向通槽內設有壓板，壓板的底部設有若干上夾槽，上夾槽中設有上橡膠阻尼片，頂壁和壓板之間連接有壓縮彈簧，石英棒的端部插入橫向通槽中，石英棒的端部夾緊于對應的上橡膠阻尼片和下橡膠阻尼片之間；石英棒上設有若干組電子片材定位組件，若干組電子片材定位組件沿石英棒的周向均布，每組電子片材定位組件包括若干定位塊，相鄰兩個定位塊之間形成電子片材定位槽，且若干組電子片材定位組件中電子片材定位槽的槽寬各不相同。本發明一種石英承載裝置，可承載不同尺寸規格的電子片材。

技術領域

本發明涉及一種石英承載裝置。

背景技術

石英材料具有良好的物理及化學穩定性，普遍應用于半導體制造與加工行業中各種耐高溫、耐腐蝕器具的制造。石英承載裝置是用于承載電子片材的裝置，現有技術中的石英承載裝置根據所需承載電子片材的尺寸進行定制，定制出來的石英承載裝置往往只能適應一種規格的電子片材，當電子片材規格不同時，需要更換石英承載裝置對電子片材進行承載，這樣就造成了成本的提高。

發明內容

本發明的目的在于提供一種石英承載裝置，其結構合理，可承載不同尺寸規格的電子片材，從而提高石英承載裝置的實用性。

為實現上述目的，本發明的技術方案是設計一種石英承載裝置，包括兩個支撐板，以及連接在兩個支撐板之間的若干個石英棒，所述若干個石英棒在兩個支撐板之間形成用于容納電子片材的支架區；所述支撐板上設有供石英棒插入的橫向通槽，所述橫向通槽包括頂壁和底壁，所述底壁上設有若干個下夾槽，各下夾槽呈圓弧形，且各下夾槽中設有呈圓弧形的下橡膠阻尼片，所述橫向通槽內設有壓板，該壓板的底部設有與下夾槽一一對應的若干個上夾槽，各上夾槽呈圓弧形，且各上夾槽位于對應下夾槽的正上方，所述上夾槽中設有呈圓弧形的上橡膠阻尼片，所述頂壁上設有兩個彈簧安裝孔，各彈簧安裝孔中安裝有壓縮彈簧，該壓縮彈簧豎直設置，且該壓縮彈簧的下端貫穿彈簧安裝孔的開口并與壓板固定連接，所述石英棒的端部插入橫向通槽中，且石英棒的端部夾緊于對應的上橡膠阻尼片和下橡膠阻尼片之間；所述石英棒上設有若干組電子片材定位組件，該若干組電子片材定位組件沿石英棒的周向均布，每組所述電子片材定位組件包括若干個定位塊，該若干個定位塊沿石英棒的軸向等間距布置，相鄰兩個所述定位塊之間形成電子片材定位槽，且若干組所述電子片材定位組件中電子片材定位槽的槽寬各不相同。

優選的，所述石英棒的端部沿軸向延伸形成位于支撐板外側的旋轉頭。

優選的，所述石英棒的外壁沿徑向延伸形成位于支撐板內側的限位擋環。

優選的，所述石英棒上的電子片材定位組件的數量為四個。

優選的，所述石英棒的數量為三個，該三個石英棒分別為一個底部支撐石英棒和兩個側部支撐石英棒，所述兩個側部支撐石英棒分別位于底部支撐石英棒的上方兩側。

優選的，所述若干個下夾槽沿橫向等間距布置。

本發明的優點和有益效果在于：提供一種石英承載裝置，其結構合理，可承載不同尺寸規格的電子片材，從而提高石英承載裝置的實用性。