[發(fā)明專利]直拉單晶爐加熱器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011494554.3
• 申請(qǐng)日: 2020-12-17
• 公開（公告）號(hào): CN112626612A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉彬國;黃旭光;王玉龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 晶澳太陽能有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/14
• 分類號(hào): C30B15/14;C30B29/06
• 代理公司: 北京市萬慧達(dá)律師事務(wù)所 11111
• 代理人: 張一帆

本發(fā)明涉及直拉單晶硅領(lǐng)域，提供了一種直拉單晶爐加熱器，包括加熱器主體、以及開設(shè)在加熱器主體側(cè)壁上的斜開槽，其中加熱器主體呈筒狀，斜開槽沿加熱器主體的軸向開設(shè)，斜開槽的側(cè)壁與加熱器主體的圓弧法線呈夾角設(shè)置，該加熱器結(jié)構(gòu)簡單，并可以有效解決發(fā)熱不均的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及直拉單晶硅領(lǐng)域，尤其涉及一種直拉單晶爐加熱器。

背景技術(shù)

硅晶體生長主要采用切克勞斯基(Czochralski)法制造，俗稱直拉單晶法。直拉單晶法是把原料硅塊放入坩堝中，在真空條件及惰性氣體的保護(hù)下，加熱器發(fā)熱使硅塊在單晶爐內(nèi)受熱熔化，再將晶種浸入溶液中，在合適的溫度下，溶液中的硅原子會(huì)按照晶種的硅原子排列結(jié)構(gòu)在固液界面形成結(jié)晶，成為單晶體，將晶種旋轉(zhuǎn)提升，硅溶液周而復(fù)始形成結(jié)晶成為單晶硅棒。其中，加熱器位于石英坩堝的外側(cè)且呈環(huán)狀設(shè)計(jì)，并通過對(duì)加熱器主體周側(cè)均布開槽的方式調(diào)節(jié)電阻率，但開槽會(huì)使加熱器主體的周側(cè)均布縫隙，從而導(dǎo)致發(fā)熱時(shí)加熱器圓周方向上的溫度呈現(xiàn)高低波動(dòng)，并對(duì)石英坩堝受熱造成波動(dòng)，且逐漸縮短加熱器的高度是當(dāng)下該技術(shù)的發(fā)展趨勢，而高度的縮短，意味著開槽寬度的增大，導(dǎo)致這種波動(dòng)進(jìn)一步擴(kuò)大，使石英坩堝受熱不均勻更明顯，從而影響晶體成晶率。因此市面上急需一種新型加熱器來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

為克服相關(guān)技術(shù)中存在的問題，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N直拉單晶爐加熱器，該加熱器結(jié)構(gòu)簡單，并可以有效解決發(fā)熱不均的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種直拉單晶爐加熱器，包括加熱器主體，所述加熱器主體的側(cè)壁上開設(shè)有斜開槽；

所述斜開槽的側(cè)壁與所述加熱器主體的圓弧法線呈夾角設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述斜開槽的長度方向沿所述加熱器主體的軸向延伸。

進(jìn)一步地，各個(gè)所述斜開槽的側(cè)壁與所述加熱器主體的圓弧法線之間的夾角為10～80°。

進(jìn)一步地，各個(gè)所述斜開槽的槽寬不小于5mm。

進(jìn)一步地，所述斜開槽設(shè)置有多個(gè)。

進(jìn)一步地，所述加熱器主體的側(cè)壁上的開槽均為所述斜開槽。

進(jìn)一步地，各個(gè)所述斜開槽等間距地分布在所述加熱器主體的側(cè)壁上。

進(jìn)一步地，相鄰的所述斜開槽分別與所述加熱器主體上不同的端部連通。

進(jìn)一步地，多個(gè)所述斜開槽的側(cè)壁與所述加熱器主體的圓弧法線之間的夾角相同。

進(jìn)一步地，相鄰的所述斜開槽的側(cè)壁之間相互平行。

進(jìn)一步地，還包括與所述加熱器主體連接的支撐架，所述支撐架對(duì)稱地設(shè)置在所述加熱器主體的周側(cè)。

進(jìn)一步地，所述支撐架呈L型。

進(jìn)一步地，所述支撐架通過螺釘與所述加熱器主體可拆卸連接。

進(jìn)一步地，所述加熱器主體呈圓筒狀。

本申請(qǐng)的實(shí)施例提供的技術(shù)方案具備以下有益效果：

與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明的加熱器本體上斜開槽側(cè)壁與加熱器主體的圓弧法線呈夾角設(shè)置，使石英坩堝周側(cè)與斜開槽對(duì)應(yīng)的位置在其圓弧法線方向上總會(huì)被斜開槽的側(cè)壁所覆蓋，即不會(huì)因斜開槽的開設(shè)而產(chǎn)生正對(duì)圓弧法線方向的縫隙，使加熱器本體對(duì)石英坩堝周側(cè)的覆蓋更加全面，以保證石英坩堝的受熱均勻。同時(shí)，從加熱器的發(fā)展趨勢來看，本發(fā)明可以根據(jù)這一特點(diǎn)，進(jìn)一步加寬斜開槽寬度，來彌補(bǔ)加熱器變短時(shí)的電阻損失，以推進(jìn)加熱器小型化進(jìn)程。

附圖說明

此處的附圖被并入說明書中并構(gòu)成說明書的一部分，示出了符合本申請(qǐng)的實(shí)施例，并與說明書一起用于解釋本申請(qǐng)的原理。