[發明專利]一種對于材料微區的吸收光譜檢測裝置及檢測方法

在審

• 申請號: 202011491156.6
• 申請日: 2020-12-16
• 公開（公告）號: CN112611746A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 張健;陳堅;周海峰;吳周令
• 申請（專利權）人: 合肥利弗莫爾儀器科技有限公司
• 主分類號: G01N21/71
• 分類號: G01N21/71;G01J5/00
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115
• 代理人: 韓燕

1.一種對于材料微區的吸收光譜檢測裝置，其特征在于：包括有泵浦光源、紅外空間濾波裝置、紅外鏡頭、紅外信號探測裝置和鎖相放大器，所述的紅外鏡頭連接于紅外信號探測裝置上，所述的泵浦光源和紅外鏡頭均朝向待測樣品的表面，所述的紅外空間濾波裝置位于待測樣品和紅外鏡頭之間，所述的紅外信號探測裝置的輸出端與鎖相放大器連接。

2.根據權利要求1所述的吸收光譜檢測裝置，其特征在于：所述的泵浦光源為寬波段光源。

3.根據權利要求1所述的吸收光譜檢測裝置，其特征在于：所述的泵浦光源和待測樣品之間順次設置有功率調節裝置、光調制裝置、光束整形裝置和聚焦裝置。

4.根據權利要求1所述的吸收光譜檢測裝置，其特征在于：所述的吸收光譜檢測裝置還包括有用于固定待測樣品并帶動待測樣品進行平移的樣品掃描運動裝置。

5.根據權利要求1所述的吸收光譜檢測裝置的檢測方法，其特征在于：首先由泵浦光源發出的光束經調制聚焦到待測樣品表面上，待測樣品吸收泵浦光能量后，引起溫度升高產生紅外輻射信號，紅外輻射信號經過紅外空間濾光裝置后，被紅外鏡頭捕捉并進入紅外信號探測裝置,通過紅外信號探測裝置后進入鎖相放大器，分析紅外信號獲得待測樣品的吸收率。