[發(fā)明專利]一種太陽能電池片槽式工藝裝置及噴淋清洗方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011491049.3
• 申請日: 2020-12-17
• 公開（公告）號: CN112701185B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 上官泉元;黃立根;莊正軍
• 申請（專利權(quán)）人: 常州比太科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11578
• 代理人: 吳倩

1.一種太陽能電池片槽式工藝裝置，包括至少一個化學(xué)槽(10)，以及設(shè)置在所述化學(xué)槽(10)上方用于花籃提拉的提升臂(30)，其特征在于，對應(yīng)所述化學(xué)槽(10)還設(shè)置有至少一根噴淋管(40)，所述噴淋管(40)上至少開設(shè)有一排對應(yīng)花籃的噴水孔并形成覆蓋花籃的噴淋區(qū)，以用于在所述提升臂(30)提起所述花籃的過程中對花籃內(nèi)的硅片進(jìn)行噴淋清洗；

所述噴淋管(40)沿所述化學(xué)槽(10)的長度方向設(shè)置并完全覆蓋花籃長度；

所述噴淋管(40)放置在化學(xué)槽(10)兩側(cè)，所述噴水孔朝向花籃并且以一定角度向上，在化學(xué)槽上方形成均勻噴淋區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池片槽式工藝裝置，其特征在于，對應(yīng)設(shè)置有所述噴淋管(40)的所述化學(xué)槽(10)工藝后還依次設(shè)置有純水槽(20)。

3.一種太陽能電池片槽式工藝后的噴淋清洗方法，其使用權(quán)利要求2所述的太陽能電池片槽式工藝裝置實施所述方法，其特征在于，當(dāng)在化學(xué)槽(10)內(nèi)經(jīng)過清洗的硅片隨花籃被提起時，打開所述噴淋管(40)以形成噴淋區(qū)，花籃在由下往上被提起時經(jīng)過所述噴淋區(qū)，所述噴淋管(40)噴淋出的純水對花籃及硅片的各個位置進(jìn)行清洗。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種太陽能電池片槽式工藝后的噴淋清洗方法，其特征在于，噴淋過程通過軟件來控制，以實現(xiàn)對應(yīng)不同所述化學(xué)槽(10)內(nèi)的花籃及硅片的清洗。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種太陽能電池片槽式工藝后的噴淋清洗方法，其特征在于，在花籃提升過程中，通過軟件控制花籃的上升速度，以使噴淋清洗達(dá)到最佳效果。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種太陽能電池片槽式工藝后的噴淋清洗方法，其特征在于，在花籃提升過程中，通過軟件控制花籃在某個位置短暫停留，以使噴淋清洗達(dá)到最佳效果。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種太陽能電池片槽式工藝后的噴淋清洗方法，其特征在于，經(jīng)過所述噴淋管(40)清洗后的花籃再移至所述的純水槽(20)中進(jìn)行二次清洗，以進(jìn)一步提升清洗效果。