[發明專利]柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備

在審

• 申請號: 202011489439.7
• 申請日: 2020-12-16
• 公開（公告）號: CN112695277A
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 朱路路;任宇航;羅明新;徐彩軍
• 申請（專利權）人: 尚越光電科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/52;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/06;H01L31/18
• 代理公司: 杭州知見專利代理有限公司 33295
• 代理人: 黃娟

1.一種柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，其特征在于：包括工藝腔，在工藝腔的兩側分別設有收卷腔和放卷腔，工藝腔、收卷腔和放卷腔上均連接有真空泵，待沉積熱處理的薄膜依次經過放卷腔、工藝腔和收卷腔，在工藝腔和收卷腔之間設有升降門，在工藝腔和放卷腔之間也設有升降門，在工藝腔內設有堿金屬加熱沉積區域。

2.根據權利要求1所述的柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，其特征在于：所述的堿金屬加熱沉積區域包括位于薄膜上方加熱燈管，在薄膜下方設有金屬蒸發源和硒源，金屬蒸發源對應有金屬源加熱電極，硒源對應有硒源加熱電極。

3.根據權利要求2所述的柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，其特征在于：所述的金屬蒸發源包括平行排列在NaF、KF和RbF的金屬蒸發源，每個金屬蒸發源均對應有各自的金屬源加熱電極。

4.根據權利要求1或2或3所述的柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，其特征在于：所述的工藝腔內設有膜厚儀探頭，膜厚儀探頭位于堿金屬加熱沉積區域的后側，靠近收卷腔一側；在堿金屬加熱沉積區域內還設有晶振片，晶振片位于薄膜下方。

5.根據權利要求1或2或3所述的柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，其特征在于：所述的工藝腔在靠近放卷腔一側設有加熱電極，工藝腔在靠近收卷腔一側設有水冷件對蒸鍍后的薄膜卷降溫。

6.根據權利要求1或2或3所述的柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，其特征在于：所述的升降門上設有密封條。

7.根據權利要求1或2或3所述的柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，其特征在于：所述的收卷腔內設有PL監測儀。

8.根據權利要求1或2或3所述的柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，其特征在于：所述的工藝腔、收卷腔和放卷腔的上方分別設有抽真空管道，抽真空管道通過閥門與真空泵連接。