[發明專利]一種芯片共晶焊接設備及共晶焊接方法

有效

• 申請號: 202011489045.1
• 申請日: 2020-12-16
• 公開（公告）號: CN112599432B
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發明（設計）人: 周德金;馬君健;徐宏;鐘磊;劉宗偉;于理科
• 申請（專利權）人: 無錫英諾賽思科技有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H01L21/683;H01L21/687;B08B1/00;B08B5/04
• 代理公司: 北京智宇正信知識產權代理事務所(普通合伙) 11876
• 代理人: 李明卓

1.一種芯片共晶焊接設備，包括底座（1）和立柱（4），其特征在于：所述底座（1）頂端的一側固定連接有立柱（4），所述立柱（4）的內部設置有調節機構（2），所述立柱（4）的一側固定連接有吸塵機構（3），所述立柱（4）的另一側設置有橫桿（5），所述橫桿（5）頂端的一側固定連接有電動推桿（6），所述電動推桿（6）的輸出端固定連接有伸縮桿（7），所述橫桿（5）的一端設置有第一滑塊（8），所述第一滑塊（8）的底端固定連接有更換結構（9），所述底座（1）的頂端固定連接有轉軸（15），所述轉軸（15）的頂端固定連接有收集盤（14），所述收集盤（14）的頂端設置有工作臺（13），所述工作臺（13）的頂端固定連接有固定結構（12），所述底座（1）頂端的另一側固定連接有刮錫結構；

所述刮錫結構包括刮錫桿（10），所述刮錫桿（10）設置在底座（1）頂端的另一側，所述刮錫桿（10）的外部活動套接有套塊（11），所述套塊（11）的一側固定連接有固定桿（16），所述固定桿（16）底端的一側固定連接有刮板（18），所述刮板（18）和固定桿（16）之間活動連接有螺栓（17），所述底座（1）的頂端固定連接有滑道（19），所述刮錫桿（10）的底端固定連接有第二滑塊（20），所述收集盤（14）的內部設置有收集板（21），所述收集板（21）的頂端固定連接有兩組把手（22）。

2.根據權利要求1所述的一種芯片共晶焊接設備，其特征在于：所述第一滑塊（8）一側的頂端和伸縮桿（7）的一側固定連接，所述第二滑塊（20）嵌在滑道（19）的內部并與滑道（19）呈滑動連接。

3.根據權利要求1所述的一種芯片共晶焊接設備，其特征在于：所述把手（22）設置有兩組并且關于收集板（21）的垂直中心線呈對稱分布。

4.根據權利要求1所述的一種芯片共晶焊接設備，其特征在于：所述調節機構（2）由伺服電機（201）、驅動塊（202）、連接塊（203）和螺紋桿（204）組成，所述螺紋桿（204）設置在立柱（4）的內部，所述螺紋桿（204）的底端固定連接有伺服電機（201），所述螺紋桿（204）的外部活動套接有驅動塊（202），所述驅動塊（202）的一側固定連接有連接塊（203）。

5.根據權利要求4所述的一種芯片共晶焊接設備，其特征在于：所述連接塊（203）的一側與橫桿（5）的一側固定連接，所述伺服電機（201）的輸出端通過聯軸器和螺紋桿（204）的底端固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種芯片共晶焊接設備，其特征在于：所述吸塵機構（3）由集塵箱（301）、吸塵管（302）、濾網（303）、過濾劑（304）和風機（305）組成，所述集塵箱（301）固定連接在立柱（4）的一側，所述集塵箱（301）內部的一側固定連接有風機（305），所述集塵箱（301）內部的另一側固定連接有濾網（303），所述集塵箱（301）的內部固定連接有過濾劑（304），所述集塵箱（301）的一側固定連接有吸塵管（302）。

7.根據權利要求6所述的一種芯片共晶焊接設備，其特征在于：所述吸塵管（302）的一側貫穿集塵箱（301）的一側并與風機（305）的輸入端固定連接。

8.根據權利要求1所述的一種芯片共晶焊接設備，其特征在于：所述更換結構（9）由連接槽（901）、固定板（902）、限位桿（903）、彈簧（904）、連接管（905）和焊接頭（906）組成，所述連接槽（901）固定連接在第一滑塊（8）的底端，所述連接槽（901）的兩側設置有兩組固定板（902），所述固定板（902）的一側固定連接有限位桿（903），所述固定板（902）和連接槽（901）之間固定連接有兩組彈簧（904），所述連接槽（901）的內部設置有連接管（905），所述連接管（905）的底端固定連接有焊接頭（906）。