[發明專利]一種具有多層反射膜的鋁板材及其真空鍍膜工藝

在審

• 申請號: 202011486477.7
• 申請日: 2020-12-16
• 公開（公告）號: CN112760597A
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 曹軼;郝天宇;關旭
• 申請（專利權）人: 曹軼
• 主分類號: C23C14/16
• 分類號: C23C14/16;C23C14/10;C23C14/06;C23C14/58;C23C14/30
• 代理公司: 深圳紫晴專利代理事務所(普通合伙) 44646
• 代理人: 陳彩云

本發明公開了一種具有多層反射膜的鋁板材，包括鋁材本體，所述鋁材本體表面由內向外依次鍍有多層膜，所述多層膜共包括二十五層膜，第一層膜為連接層，第二層膜為過渡層，第三層膜為吸收層，第四層?第十八層膜為反射膜堆層，第十九層?第二十三層為調色膜堆層，第二十四?第二十五層為保護層。本發明屬于金屬介質鍍膜技術領域，具體提供了一種具有高反射，耐高溫，膜層牢固度高，應用在紫外固化燈設備中，有效提高了設備紫外光反射能效的具有多層反射膜的鋁板材及其真空鍍膜工藝。

技術領域

本發明屬于金屬介質鍍膜技術領域，具體為一種具有多層反射膜的鋁板材及其真空鍍膜工藝。

背景技術

在半導體制造工藝過程中，通常需要對沉積的薄膜進行固化，以獲得所需的薄膜性能。以往常采用加熱烘烤達到固化薄膜的目的，但是熱固化速度慢、能耗高、設備及工藝復雜，目前已逐漸被紫外固化(UVcure)所替代。

紫外線固化是利用光引發劑的感光性，在紫外線光照射下，光引發形成激發生態分子，分解成自由基或是離子，使不飽和有機物進行聚合、接枝、交聯等化學反應達到固化的目的。

目前的紫外固化燈一般采用兩排燈珠的光源，通過單層透鏡折射來進行紫外線聚焦，固化物體。為提高紫外固化燈的固化效率，紫外固化燈上通常設有鋁材制成的反射罩。但是，傳統紫外固化燈用普通鋁材做反射罩，反射能量低，通常僅能達到70％，反射紅外熱量高，且鋁材表面硬度低，抗腐蝕能力差。

發明內容

針對上述情況，為克服當前的技術缺陷，本發明提供了一種具有高反射，耐高溫，膜層牢固度高，應用在紫外固化燈設備中，有效提高了設備紫外光反射能效的具有多層反射膜的鋁板材及其真空鍍膜工藝。

本發明采取的技術方案如下：本發明一種具有多層反射膜的鋁板材，包括鋁材本體，所述鋁材本體表面由內向外依次鍍有多層膜，所述多層膜共包括二十五層膜，第一層膜為連接層，第二層膜為過渡層，第三層膜為吸收層，第四層-第十八層膜為反射膜堆層，第十九層-第二十三層為調色膜堆層，調色膜堆層的目的是使產品外觀為藍紫色，對應紫外光反射顏色，第二十四-第二十五層為保護層。

進一步地，所述連接層為金屬鉻膜，選取金屬鉻膜為連接層，達到一種膜層和鋁板直接的軟連接作用，為后續的裁剪壓弧工藝做基礎。

進一步地，所述過渡層為二氧化硅膜。

進一步地，所述吸收層為氮化鈦膜或氧化鈦膜中的一種，選取氮化鈦膜或氧化鈦膜為吸收層，吸收近紅外光，達到反射熱量低的效果，同時使膜層具有一定韌性，可達到壓弧工藝的要求。

進一步地，所述反射膜堆層由鉿和硅組成，選取鉿和硅組成的反射膜堆層，使鋁板紫外光的反射率70％提高到90％。

進一步地，所述保護層為二氧化硅膜，保護層使用二氧化硅膜，使產品達到耐磨損、可擦拭的技術效果。

作為優選地，所述鋁材本體為拋光鋁材。

一種具有多層反射膜的鋁板材的真空鍍膜工藝，具體包括下列步驟：

(1)在真空爐中放置鋁材，抽真空2*10^-3Pa，不加溫；

(2)充50sccm氬氣進行離子轟擊清洗10分鐘；

(3)使用10kv電子槍，晶控儀控制厚度，依照膜系設計的厚度進行多層膜鍍制，過程中使用離子輔助工藝；

(4)鍍制完成后加熱到120℃保持20分鐘釋放膜層應力。

采用上述結構本發明取得的有益效果如下：本發明一種具有多層反射膜的鋁板材及其真空鍍膜工藝，通過真空鍍膜技術，在鋁材上鍍設多層反射膜，對紫外光波段反射率提高到90％以上，吸收可見和近紅外光，降低反射熱量80％，達到紫外光低溫高反射效果，且膜層呈現藍紫色，膜層牢固度高，耐磨損、可擦拭、抗腐蝕能力強。