[發明專利]激光加工裝置在審
| 申請號： | 202011485149.5 | 申請日： | 2020-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN113118643A | 公開（公告）日： | 2021-07-16 |
| 發明（設計）人： | 吉田侑太 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/38 | 分類號： | B23K26/38;B23K26/02;B23K26/046;B23K26/064;B23K26/08 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 喬婉;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 加工 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種激光加工裝置，其特征在于，
該激光加工裝置具有：
卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；
激光束照射單元，其照射對于該卡盤工作臺所保持的被加工物具有吸收性的波長的激光束；
X軸方向移動單元，其使該卡盤工作臺與該激光束照射單元沿作為加工進給方向的X軸方向相對地移動；以及
Y軸方向移動單元，其使該卡盤工作臺與該激光束照射單元沿作為與加工進給方向垂直的分度進給方向的Y軸方向相對地移動，
該激光束照射單元包含：
激光振蕩器；
聚光透鏡，其對從該激光振蕩器射出的激光束進行聚光；
能量分布修正單元，其配設在該激光振蕩器與該聚光透鏡之間，將從該激光振蕩器射出的激光束的Y軸方向的能量分布的高斯分布的下擺部分形成為垂直的分布；
成像透鏡組，其由兩片以上的透鏡構成，使通過該能量分布修正單元修正了能量分布的激光束的光束形狀成像在被加工物的上表面上；以及
一片柱面透鏡，其對通過該能量分布修正單元修正了能量分布的激光束的X軸方向的能量密度進行調整，
使該成像透鏡組與該柱面透鏡之間的距離相對地移動來調整該激光束在被加工物的上表面上的光斑形狀。
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，
該成像透鏡組包含中繼透鏡和擴展器。
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