[發明專利]激光裝置、測量裝置和測量方法在審
| 申請號: | 202011484384.0 | 申請日: | 2020-12-16 |
| 公開(公告)號: | CN113013719A | 公開(公告)日: | 2021-06-22 |
| 發明(設計)人: | 小松崎晉路;高橋智隆;氏原大希 | 申請(專利權)人: | 株式會社三豐;株式會社3D創新 |
| 主分類號: | H01S3/106 | 分類號: | H01S3/106;H01S3/067;H01S3/10;G01S7/481;G01S7/4911;G01S17/34 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 鄧亞楠 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 激光 裝置 測量 測量方法 | ||
1.一種激光裝置,用于輸出具有多種模式的調頻激光束,所述激光裝置包括:
光學腔,其具有
用于放大要輸入的光的增益介質,以及
光學SSB調制器,用于移位由所述增益介質放大的光的頻率;以及
控制部件,其控制所述光學SSB調制器以移位要輸入到所述光學SSB調制器的光的頻率。
2.如權利要求1所述的激光裝置,其中
所述控制部件設置所述光學SSB調制器的頻移量。
3.如權利要求2所述的激光裝置,其中
所述光學SSB調制器具有:
襯底,
主馬赫曾德爾波導,其設置在所述襯底上且具有第一臂波導和第二臂波導,
設置在所述第一臂波導上的第一子馬赫曾德爾波導,以及
設置在所述第二臂波導上的第二子馬赫曾德爾波導;并且
所述控制部件將預定值的DC電壓和RF信號提供給設置在所述襯底上并且對應于所述主馬赫曾德爾波導、所述第一子馬赫曾德爾波導和所述第二子馬赫曾德爾波導的電極,并通過改變所述RF信號的頻率來設置所述頻移量。
4.如權利要求1所述的激光裝置,其中所述控制部件設置所述光學SSB調制器的頻移方向。
5.如權利要求4所述的激光裝置,其中
所述光學SSB調制器具有:
襯底,
主馬赫曾德爾波導,其設置在所述襯底上且具有第一臂波導和第二臂波導,
設置在所述第一臂波導上的第一子馬赫曾德爾波導,以及
設置在所述第二臂波導上的第二子馬赫曾德爾波導;并且
所述控制部件通過將預定值的DC電壓提供給設置在所述襯底上并且對應于所述主馬赫曾德爾波導、所述第一子馬赫曾德爾波導和所述第二子馬赫曾德爾波導的電極來切換所述頻移方向。
6.如權利要求4所述的激光裝置,其中
所述光學SSB調制器具有:
襯底,
主馬赫曾德爾波導,其設置在所述襯底上且具有第一臂波導和第二臂波導,
設置在所述第一臂波導上的第一子馬赫曾德爾波導,以及
設置在所述第二臂波導上的第二子馬赫曾德爾波導;并且
所述控制部件將要提供給設置在所述襯底上并且對應于所述主馬赫曾德爾波導、所述第一子馬赫曾德爾波導和所述第二子馬赫曾德爾波導的電極的RF信號的相位反轉,并切換所述頻移方向。
7.如權利要求3所述的激光裝置,其中
所述主馬赫曾德爾波導是這樣的波導,其將輸入到所述光學SSB調制器的光分支到所述第一臂波導和所述第二臂波導,并將分支的光復用以輸出復用的光,
所述第一子馬赫曾德爾波導是這樣的波導,其將輸入到所述第一臂波導的光分支到第一子臂波導和第二子臂波導,并將分支的光復用以輸出復用的光到所述第一臂波導,
所述第二子馬赫曾德爾波導是這樣的波導,其將輸入到所述第二臂波導的光分支到第三子臂波導和第四子臂波導,并將分支的光復用以輸出復用的光到所述第二臂波導,
所述電極具有:
設置在所述主馬赫曾德爾波導的第一臂波導和第二臂波導之間的主DC電極,
設置在所述第一子馬赫曾德爾波導的第一子臂波導和第二子臂波導之間的第一子DC電極和第一RF電極,
設置在所述第二子馬赫曾德爾波導的第三子臂波導和第四子臂波導之間的第二子DC電極和第二RF電極,并且
所述控制部件將預定的DC電壓提供給所述主DC電極、所述第一子DC電極和所述第二子DC電極,并將預定的RF信號提供給所述第一RF電極和所述第二RF電極。
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