[發(fā)明專利]一種溫度自適應潤滑軸承及其制備方法

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• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112853261A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設計）人: 邢佑強;吳澤;謝明江;李燕凡
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: C23C14/02
• 分類號: C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;F16C33/58;F16C33/62;F16C33/64
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 黃雪

1.一種溫度自適應潤滑軸承，基體材料為軸承鋼或不銹鋼，其特征在于：軸承基體表面具有ZrAgNbN+MoTeVC交替分布的溫度自適應潤滑疊層涂層。

2.根據權利要求1所述的一種溫度自適應潤滑軸承，其特征在于：所述疊層涂層至少含有10層ZrAgNbN層和10層MoTeVC層，且ZrAgNbN與MoTeVC單個層的厚度小于等于300nm。

3.根據權利要求1所述的一種溫度自適應潤滑軸承，其特征在于：所述ZrAgNbN涂層中Zr元素原子百分比為30-50％，Ag元素原子百分比為10-20％，Nb元素原子百分比為5-20％，N元素原子百分比為20-40％，所述Zr、Ag、Nb、N元素原子百分比之和為100％；MoTeVC涂層中Mo元素原子百分比為20-25％，Te元素原子百分比為40-50％，V元素原子百分比為10-20％，C元素原子百分比為10-20％，所述Mo、Te、V、C元素原子百分比之和為100％。

4.權利要求1-3任意一項所述的溫度自適應潤滑軸承的制備方法，其特征在于，制備方法包括以下步驟：

(1)前處理：將軸承基體依次放入酒精和丙酮中超聲清洗各20-30min，去除表面油漬污染物，采用真空干燥箱充分干燥后迅速放入鍍膜機真空室，真空室本底真空為7.0×10^-3-9.0×10^-3Pa，加熱至150-300℃，保溫時間30-40min。

(2)離子清洗：通入Ar氣，其壓力為0.5-2.0Pa，開啟偏壓電源，電壓為700-1000V，占空比為0.25-0.3，輝光放電清洗20-30min；偏壓降低至300-800V，開啟離子源離子清洗20-30min，開啟電弧源Zr靶，偏壓為400-600V，靶電流為40-80A，離子轟擊Zr靶0.5-2min。

(3)沉積ZrAgNbN層：調整工作氣壓為0.5-3.0Pa，偏壓為100-300V，調整Zr靶電流為80-160A，開啟AgNbN復合靶電弧電源，靶電流調至60-90A，沉積ZrAgNbN涂層2-5min。

(4)沉積MoTeVC層：關閉Zr靶和AgNbN復合靶，調整工作氣壓為0.5-2.0Pa，偏壓為200-400V，開啟MoTe2靶和VC靶電弧電源，MoTe2靶電流為80-120A，VC靶電流為60-70A，沉積MoTeVC涂層2-5min。

(5)沉積ZrAgNbN+MoTeVC交替疊層涂層：重復以上步驟(3)和(4)，交替沉積ZrAgNbN+MoTeVC疊層涂層，使涂層總厚度為2-50μm。

(6)后處理：關閉所有靶材、偏壓電源及氣體源，保溫30-60min，涂層結束。