[發明專利]一種低損耗的玻璃陶瓷平面光波導及其制備方法

有效

• 申請號: 202011478621.2
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112526671B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 張樂;甄方正;康健;陳東順;申冰磊;趙超;羅澤;陳浩
• 申請（專利權）人: 新沂市錫沂高新材料產業技術研究院有限公司
• 主分類號: G02B6/10
• 分類號: G02B6/10
• 代理公司: 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙) 32267
• 代理人: 朱智杰

1. 一種低損耗的玻璃陶瓷平面光波導的制備方法，其特征在于，所制備的玻璃陶瓷平面光波導滿足下式所示組分：

SiO₂–30mol%SnO₂:xEr³⁺

其中，0.3≤x≤0.5；采用通過溶膠凝膠法和浸涂技術制備，具體步驟如下：

按照化學計量比稱量純度大于99.9%的SnCl₂、Er(NO₃)₃、檸檬酸和TEOS作為原料；首先將SnCl₂、Er(NO₃)₃、TEOS和檸檬酸混合，檸檬酸與金屬離子的摩爾比為1:(0.5~1)，然后加入體積分數為混合物20~50%的去離子水，在200~300rpm下攪拌10~16h，得到溶膠；使用200nm的過濾器過濾溶液，收集的濾液用于浸涂；在SiO₂玻璃上進行浸涂，浸入速度為7~7.5cm /min，共沉積20~30個沉積層，浸涂后在800~900℃下干燥20~30min；最后在900~1100℃下加熱1~3h，得到玻璃陶瓷平面光波導。

2. 一種低損耗的玻璃陶瓷平面光波導 ，其特征在于，按權利要求1所述的制備方法制備而成，制備的玻璃陶瓷平面光波導在1542 nm處的傳播損耗低至0.5~0.8dB/cm。