[發(fā)明專利]一種紫外光激發(fā)的納米纖維素柔性氣敏傳感器的制備方法

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• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112630181A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 童欣;任海波;伍金寶;楊遠(yuǎn)
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江科技學(xué)院
• 主分類號: G01N21/33
• 分類號: G01N21/33
• 代理公司: 杭州萬合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33294
• 代理人: 丁海華;萬珠明

1.一種紫外光激發(fā)的納米纖維素柔性氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1、將半導(dǎo)體納米顆粒加入濃度為1-3wt％的納米纖維素懸浮液中，超聲混合5-10min，形成混合懸浮液；其中混合懸浮液中的半導(dǎo)體納米顆粒與納米纖維素固含量的質(zhì)量比1：10-100，半導(dǎo)體納米顆粒的禁帶寬度范圍為3.1eV-6.2eV；

S2、采用0.05-0.2μm微孔濾膜進(jìn)行真空抽濾，先加入0.5-2份混合懸浮液進(jìn)行真空抽濾，形成一層納米纖維素薄膜，防止半導(dǎo)體納米顆粒穿透微孔濾膜，再加入10-20份的混合懸浮液進(jìn)行真空抽濾得到中間體，再將中間體放入烘箱中以50-70℃加壓干燥2-5h，得到納米復(fù)合膜；

S3、利用真空離子濺射法在納米復(fù)合膜表面將金材料制成叉指電極，并引入引腳制得氣敏傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外光激發(fā)的納米纖維素柔性氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1、將半導(dǎo)體納米顆粒加入濃度為2wt％的納米纖維素懸浮液中，超聲混合8min，形成混合懸浮液；其中混合懸浮液中的半導(dǎo)體納米顆粒與納米纖維素固含量的質(zhì)量比1：50；半導(dǎo)體納米顆粒的禁帶寬度范圍為3.1eV-6.2eV；

S2、采用0.1μm微孔濾膜進(jìn)行真空抽濾，先加入1份混合懸浮液進(jìn)行真空抽濾，形成一層納米纖維素薄膜，防止半導(dǎo)體納米顆粒穿透微孔濾膜，再加入15份的混合懸浮液進(jìn)行真空抽濾得到中間體，再將中間體放入烘箱中以60℃加壓干燥4h，得到納米復(fù)合膜；

S3、利用真空離子濺射法在納米復(fù)合膜表面將金材料制成叉指電極，并引入引腳制得氣敏傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紫外光激發(fā)的納米纖維素柔性氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：所述的半導(dǎo)體納米顆粒為二氧化鈦納米顆粒、氧化鎵納米顆粒、氧化錳納米顆粒、氧化砷納米顆粒、氧化鋅納米顆粒、氧化鉻納米顆粒或氧化鎳納米顆粒中的一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外光激發(fā)的納米纖維素柔性氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：所述的半導(dǎo)體納米顆粒為二氧化鈦納米顆粒。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紫外光激發(fā)的納米纖維素柔性氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：步驟S3中，先采用激光刻蝕的方法，在不銹鋼掩板上加工鏤空的電極圖案，將掩板覆蓋在納米復(fù)合膜材料表面，再在復(fù)合膜表面加工叉指電極。