[發明專利]一種大空腔多密封結構容器氣密性檢測裝置及其檢測方法

在審

• 申請號: 202011476346.0
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN113008476A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍63653部隊
• 主分類號: G01M3/22
• 分類號: G01M3/22
• 代理公司: 烏魯木齊新科聯知識產權代理有限公司 65107
• 代理人: 白燁

1.一種大空腔多密封結構容器氣密性檢測裝置,包括大空腔多密封結構容器(11)，其特征是：在大空腔多密封結構容器(11)一側設置著第一通孔，第一通孔通過連接管路依次連接著具有標準漏孔(3)的真空計(4)、第一閥門(5)和羅茨泵(6)，在該側裝置的第二通孔連接的管路上通過第二閥門(8)連接著旋片泵(7)，在大空腔多密封結構容器(11)的另一側設置著第三通孔，在第三通孔連接的管路上通過分子泵(10)連接著檢漏儀(9),在大空腔多密封結構容器(11)上分布的各密封部位(2)外側分別安裝著氦罩(1)。

2.根據權利要求1所述的一種大空腔多密封結構容器氣密性檢測裝置的檢測方法,其特征是：有如下步驟，1)先開啟旋片泵(7)，將被檢件大空腔多密封結構容器(11)抽真空，待真空度至8000Pa時，關閉旋片泵(7)；

2)開啟羅茨泵(6)，繼續對被檢件大空腔多密封結構容器(11)抽真空，待真空度至100Pa時，關閉羅茨泵(6)；

3)開啟檢漏儀(9)，然后啟動分子泵(10)，使分子泵(10)排出的氣體全部進入檢漏儀(9)；

4)待檢漏儀(9)的本底穩定后，開啟標準漏孔(3)，標定被檢系統的靈敏度，并估算系統反應時間；

5)然后，相對應檢漏儀(9)的位置，由近至遠，由上至下的順序依次在大空腔多密封結構容器分布的各密封部位(2)外側分別安裝氦罩(1)，在每個氦罩(1)內分別加氦氣，加氦氣的時間為3倍檢漏系統的反應時間，根據檢漏系統反應時間的變化，可準確判定漏孔的位置。

3.根據權利要求2所述的一種大空腔多密封結構容器氣密性檢測裝置的檢測方法,其特征是：檢漏系統的氦氣分壓為、檢漏系統反應時間為，其中Q^，為檢漏系統靈敏度，S₂^，為檢漏系統的泵后抽速，V為被測系統的體積，S^，為泵前抽速。

4.根據權利要求1所述的一種大空腔多密封結構容器氣密性檢測裝置的檢測方法，其特征是：系統反應時間為從氦氣進入漏孔起，到輸出儀表的變動達到其最大值的63%時為止所需的時間。

5.根據權利要求1所述的一種大空腔多密封結構容器氣密性檢測裝置，其特征是：大空腔多密封結構容器的體積100L。