[發(fā)明專利]一種金屬電極的激光刻線方法及薄膜太陽能電池

在審

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• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112599612A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設計）人: 董超;趙志國;秦校軍;熊繼光;王百月;劉家梁;劉娜;趙東明;肖平;王森
• 申請（專利權(quán)）人: 華能新能源股份有限公司;中國華能集團清潔能源技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18;H01L31/0445
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 張海平

1.一種薄膜太陽能電池，其特征在于，包括導電玻璃(102)，導電玻璃(102)上表面設有吸收層(301)，吸收層(301)的上下表面分別設有正電極層(501)和負電極層(101)；

負電極層(101)上開設有與導電玻璃(102)的玻璃層相通的第一刻線槽(201)，第一刻線槽(201)內(nèi)填充有吸收層(301)，吸收層(301)上表面開設有與負電極層(101)相通的第二刻線槽(401)，第二刻線槽(401)的底部位于第一刻線槽(201)頂部的側(cè)邊，吸收層(301)上表面設有正電極層(501)，第二刻線槽(401)內(nèi)填充有正電極層(501)，正電極層(501)上開設有與吸收層(301)相通的第三刻線槽(601)，第三刻線槽(601)位于第二刻線槽(401)頂部的側(cè)邊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述第一刻線槽(201)、第二刻線槽(401)和第三刻線槽(601)的寬度均為28～32μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述第一刻線槽(201)、第二刻線槽(401)和第三刻線槽(601)均通過納秒激光器進行激光刻線得到。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述負電極層(101)為導電氧化層或電子傳輸層；所述的正電極層(501)為導電氧化層或空穴傳輸層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述吸收層(301)由銅銦鎵硒、鈣鈦礦和碲化鎘制備而成；所述導電玻璃(102)為ITO玻璃或FTO玻璃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述吸收層(301)的厚度為500～700nm；所述正電極層(501)和負電極層(101)的厚度均為300～700nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述第二刻線槽(401)底部的一端與第一刻線槽(201)頂部的一端連接；第二刻線槽(401)頂部的一端與第三刻線槽(601)底部的一端連接。

8.一種權(quán)利要求1～7任一項所述薄膜太陽能電池的激光刻線方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1：在導電玻璃(102)上沉積負電極層(101)，然后對負電極層(101)進行激光P1刻線，由負電極層(101)刻至導電玻璃(102)的玻璃層，在負電極層(101)上形成若干個將負電極層(101)分割的第一刻線槽(201)；

S2：在負電極層(101)和第一刻線槽(201)上沉積吸收層(301)，然后在吸收層(301)上進行激光P2刻線，由吸收層(301)刻至負電極層(101)，在吸收層(301)上形成若干個將吸收層(301)分割的第二刻線槽(401)；

S3：在吸收層(301)和第二刻線槽(401)上沉積正電極層(501)，然后在正電極層(501)上進行激光P3刻線，由正電極層(501)刻至吸收層(301)，在正電極層(501)上形成若干個將正電極層(501)分割的第三刻線槽(601)，得到薄膜太陽能電池。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光刻線方法，其特征在于，所述第二刻線槽(401)底部的一端與第一刻線槽(201)頂部的一端連接；第二刻線槽(401)頂部的一端與第三刻線槽(601)底部的一端連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光刻線方法，其特征在于，激光刻線過程中，脈沖持續(xù)時間為0.1～100納秒。